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什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅 已有2人参与
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硅片上先张了氮化硅，又长了氧化硅。用什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅，最好也不要刻蚀硅片。 另外有氮化硅和氧化硅的硅片怎么清洗干净呢？用H2SO4+H2O2可以吗？ |
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zhenwuhuang
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3楼2014-06-11 14:44:08