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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » t-ZrO2的分析
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nbxy123

铁虫 (初入文坛)

[求助] t-ZrO2的分析 已有3人参与

大家好，我的样品是在锆合金上磁控溅射了t-Zr02的膜，小角掠射XRD图都有t-Zr02的峰值，但是膜厚不一样峰值大小也不一样，不是越厚越尖锐，这是为什么啊？
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1楼 2014-04-27 13:01:15
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
对小角XRD不是很清楚，不过一般情况下应该是样品的结晶程度越高，衍射峰越尖锐，而不是跟薄膜厚度有关系吧。。。。。。而且，XRD存在的问题就是复现性，即便同一个样品，测试两次，可能得到的强度也会不同。。。。。。
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2楼2014-04-27 19:25:36
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xyblaze

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

XRD峰与结晶度有关。氧化锆的镀膜比较trick，氧分压，功率等很多参数都会影响。需要慢慢调整。
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3楼2014-05-05 11:19:51
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

为解决这个疑惑问题，楼主最好具体分析一下峰值尖锐与否两种情况下薄膜的氧化钇含量与正方相体积百分比含量的对应关系。
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4楼2014-05-05 19:20:25
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