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氮化铝薄膜电阻率的有关问题
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| 用磁控溅射法制备的氮化铝陶瓷薄膜，用四点探针法测出来电阻率，数量级为-7次方，为什么，与实际的差别也太大了，请问是什么原因导致这种结果，可能的原因说什么的，急求 |
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