| 查看: 2260 | 回复: 7 | |||
Joseph820铁杆木虫 (正式写手)
|
[求助]
MEMS工艺中做lift off 结果不理想 已有4人参与
|
| 在一个10mm*20mm*1mm的不锈钢片上做一个微加热器,pattern的最小尺度是50微米,在基底(不锈钢片)上沉积了5微米厚的二氧化硅,之后在上面用HR504做光刻胶,然后dc sputtering了200nm 铂. 最后做lift off花费了两周都没有把图案完全做出来,只有一小部分的铂才掉下来,不知道是什么原因,恳请各位高人帮忙解答~ |
回复此楼» 猜你喜欢
【26年入学】红外半导体/电子信息/嵌入式视觉/诚招博士生 光电教育部重点实验室
已经有0人回复
-
CSC难上岸，25年东京大学，早稻田，京都大学多Lab大量招募日本全奖博士生！
已经有5人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有169人回复
-
【26年入学】红外半导体/电子信息/嵌入式视觉/诚招博士生 光电教育部重点实验室
已经有0人回复
-
读博入学申请
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 询问大家做lift-off都用什么胶？
已经有15人回复
xiangmengli
金虫 (正式写手)
微纳米小木虫
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 1129.5
- 散金: 34
- 红花: 9
- 帖子: 906
- 在线: 88.5小时
- 虫号: 1500067
- 注册: 2011-11-19
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
2楼2014-02-12 18:48:48
3楼2014-02-13 10:07:08
Joseph820
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5834.5
- 散金: 100
- 帖子: 309
- 在线: 14.5小时
- 虫号: 2232071
- 注册: 2013-01-09
- 性别: GG
- 专业: 系统科学与系统工程
4楼2014-02-15 20:58:26
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2014-03-10 17:41:50
6楼2014-03-12 12:53:11
myIDname
木虫 (著名写手)
人民大会堂首席清洁工
- 应助: 143 (高中生)
- 贵宾: 0.295
- 金币: 1700.4
- 散金: 1020
- 红花: 30
- 沙发: 2
- 帖子: 2540
- 在线: 414.7小时
- 虫号: 1586017
- 注册: 2012-01-24
- 专业: 微/纳机械系统
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
Joseph820: 金币+5, ★★★很有帮助, 已经找到问题原因啦,1.pattern有长线条阵列;2.光刻胶薄了些,已经换更厚的胶OK的. 谢谢你的帮助啊 2014-03-16 16:27:53
Joseph820: 金币+5, ★★★很有帮助, 已经找到问题原因啦,1.pattern有长线条阵列;2.光刻胶薄了些,已经换更厚的胶OK的. 谢谢你的帮助啊 2014-03-16 16:27:53
|
1. 你的pattern有没有长线条阵列？有的话可能会增加liftoff难度； 2. sputter的温度多少？sputter很可能会超过150C，这种温度下有些光刻胶就变质了，丙酮什么的根本去不掉。或者说可以考虑蒸发镀膜，这个温度会低一点。 3. 确定光刻胶没有过期？ 4. 光刻胶多厚？薄的话不容易去胶； 5.考虑超声。但是得保证Pt和SiO2的黏附性足够好，或者说你Pt底下有没有Ti或者其它金属层（标准做法是Ti+Au+Pt）； 6. 考虑稍微加热，比如60C。 |
7楼2014-03-13 23:45:48
8楼2015-09-28 19:54:44