应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械制造 » MEMS工艺中做lift off 结果不理想
51/1返回列表
查看: 2749  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

Joseph820

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] MEMS工艺中做lift off 结果不理想 已有4人参与

在一个10mm*20mm*1mm的不锈钢片上做一个微加热器,pattern的最小尺度是50微米,在基底(不锈钢片)上沉积了5微米厚的二氧化硅,之后在上面用HR504做光刻胶,然后dc sputtering了200nm 铂. 最后做lift off花费了两周都没有把图案完全做出来,只有一小部分的铂才掉下来,不知道是什么原因,恳请各位高人帮忙解答~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
言必信,行必果.
1楼 2014-02-10 17:51:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

二十二点五十

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangmengli at 2014-02-12 18:48:48
光刻胶的厚度需要在1um以上。光刻胶图案的棱边垂直度不够，也许曝光或者显影参数不太好，应先保证棱边足够垂直。在溅射金属铂之前需要溅射一层钛作为过渡层，另外铂的厚度100纳米足够了。祝你好运！

你好,您的意思是做lift-off的话光刻胶图案的棱边要垂直?这个是必须的吗?我做相关实验时也出现了类似问题,我的图案是圆形的,出现剥离不掉的情况,之前做过方形的可以顺利剥离.可参见附件第一张完全没有剥离掉,第二张部分剥离,谢谢
MEMS工艺中做lift off 结果不理想
剥离.png


MEMS工艺中做lift off 结果不理想-1
剥离1.png
赞一下 回复此楼
莫道微纳尺度小 方寸之地舞大风
8楼2015-09-28 19:54:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻胶的厚度需要在1um以上。光刻胶图案的棱边垂直度不够，也许曝光或者显影参数不太好，应先保证棱边足够垂直。在溅射金属铂之前需要溅射一层钛作为过渡层，另外铂的厚度100纳米足够了。祝你好运！
赞一下(1人) 回复此楼
梅花香自苦寒来
2楼2014-02-12 18:48:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haerbin06

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先你的镀金工艺就是不可取的，，，，应该改为 eb evaporation,  

另外，检查下你的胶厚， 一般来说，，使用负胶，欠曝光， 过develop，就会实现负角度，这样 剥离肯定会成功
赞一下 回复此楼
我很好
3楼2014-02-13 10:07:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Joseph820

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by haerbin06 at 2014-02-13 10:07:08
首先你的镀金工艺就是不可取的，，，，应该改为 eb evaporation,  

另外，检查下你的胶厚， 一般来说，，使用负胶，欠曝光， 过develop，就会实现负角度，这样 剥离肯定会成功

您好,镀金工艺我们学校只有dc sputtering这么一种啊,没有办法选择,温度我选择的是常温.胶厚大概1.5微米到2微米的样子,如果选用负胶的话是否意味着我的mask都需要重新去做,变成light field?
赞一下 回复此楼
言必信,行必果.
4楼2014-02-15 20:58:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 什么时候开奖？ +9 CrisMessi 2026-08-18 10/500 2026-08-23 12:03 by 丶昵称占用
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +7 且听虎啸 2026-08-17 8/400 2026-08-22 21:55 by 医学老男孩
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 炎黄贵胄 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +16 医学老男孩 2026-08-20 20/1000 2026-08-21 21:13 by Ldrop2023
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭