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Joseph820铁杆木虫 (正式写手)
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[求助]
MEMS工艺中做lift off 结果不理想 已有4人参与
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| 在一个10mm*20mm*1mm的不锈钢片上做一个微加热器,pattern的最小尺度是50微米,在基底(不锈钢片)上沉积了5微米厚的二氧化硅,之后在上面用HR504做光刻胶,然后dc sputtering了200nm 铂. 最后做lift off花费了两周都没有把图案完全做出来,只有一小部分的铂才掉下来,不知道是什么原因,恳请各位高人帮忙解答~ |
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3楼2014-02-13 10:07:08