| 查看: 2363 | 回复: 7 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
Joseph820铁杆木虫 (正式写手)
|
[求助]
MEMS工艺中做lift off 结果不理想 已有4人参与
|
|
| 在一个10mm*20mm*1mm的不锈钢片上做一个微加热器,pattern的最小尺度是50微米,在基底(不锈钢片)上沉积了5微米厚的二氧化硅,之后在上面用HR504做光刻胶,然后dc sputtering了200nm 铂. 最后做lift off花费了两周都没有把图案完全做出来,只有一小部分的铂才掉下来,不知道是什么原因,恳请各位高人帮忙解答~ |
回复此楼» 猜你喜欢
工程热物理方向-考博-自荐
已经有0人回复
-
大连海事大学智能机器人及人工智能团队 空余博士名额1个
已经有0人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有185人回复
-
哈尔滨工程大学动力学院赵建辉团队招收2026博士研究生
已经有10人回复
-
【调剂】0856材料287分，一志愿哈工大，求A区材料相关调剂
已经有4人回复
-
大连海事大学人工智能学院招收2026年4月申请-考核制的博士生补录取
已经有0人回复
-
大连海事大学人工智能学院招收2026申请-考核制的博士生补录取
已经有2人回复
-
东南大学364求调剂
已经有5人回复
-
pva水凝胶电池
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 询问大家做lift-off都用什么胶？
已经有15人回复
Joseph820
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5834.5
- 散金: 100
- 帖子: 309
- 在线: 14.5小时
- 虫号: 2232071
- 注册: 2013-01-09
- 性别: GG
- 专业: 系统科学与系统工程
4楼2014-02-15 20:58:26
xiangmengli
金虫 (正式写手)
微纳米小木虫
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 1129.5
- 散金: 34
- 红花: 9
- 帖子: 906
- 在线: 88.5小时
- 虫号: 1500067
- 注册: 2011-11-19
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
2楼2014-02-12 18:48:48
3楼2014-02-13 10:07:08
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2014-03-10 17:41:50
