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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与

如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。
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爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
1楼 2014-01-02 09:18:35
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fyl1989

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-01-07 17:02:05
我们这两种都做过，先说SEM吧（拿TiN薄膜为例），我们是直接在Si衬底上生长TiN,正如楼上有人所说，由于薄膜表面平坦度较好，所以可能导致SEM图的Contrast较低，图像分辨的不是很清楚，但还是可以看到的晶粒的，不过这要取决于薄膜的厚度和SEM的水平了。对于AFM，这个看表明的晶粒基本是没有什么问题的（如果你只是为了看看不同条件对晶粒的影响），不过要想计算平均晶粒尺寸，还需要特定的软件，我们在做金属氧化物正交实验时发现，功率是影响晶粒大小的关键因素，而压强、靶基距、气体流量对晶粒的影响不大，可以作为对薄膜淀积的参考（仅限参考），所以，你要想观察晶粒尺寸的话，AFM和SEM都可用（推荐使用AFM），就看你AFM和SEM的水平了。PS：AFM和SEM在同样比例尺下的图可能观察到的晶粒完全不同，这很正常，因为前者是利用探针和物体表面接触反馈进行的成像，而后者是利用二次电子进行的成像，所以如果你想要进行比较，最好是在同一种表征手段下进行比较，否则可比性不大。希望对你有所帮助！
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17楼2014-01-05 10:27:52
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superpdy

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
sem还是可以看见的，不过只是表面的情况，最好再看一下抛面确定晶粒生长的情况。顺便afm是看表面形貌的，比如粗糙度。如果你们的sem中有eds确定下晶粒的成分是你要找的晶粒更好

[ 发自小木虫客户端 ]
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北京北京
2楼2014-01-02 10:07:22
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surface97

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试 SEM 吧，说不定可以 AFM 基本上只能看表面轮廓
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看一下这个帖子，SCI论文一点通：http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=6697689
3楼2014-01-02 10:22:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描不行的，溅射的膜一般都非常平的，扫描看不出啥东西，不过前提是你基底非常平质量很好，场发射扫描的能力在20nm以下的颗粒就不擅长了，10nm基本就很难看到了

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4楼2014-01-02 11:30:21
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知镀的是何种金属，不同金属颗粒大小不同，在SEM下可以看到，但是不同溅射条件产生的颗粒大小差别甚微，需要高放大倍数才能看到，本人做过Ag颗粒大小在不同溅射条件的探讨，颗粒大小在SEM下可辨
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千里之行始于足下
8楼2014-01-02 18:09:22
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1919-lzu

铜虫 (小有名气)
我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜，在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。
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stayhungry,stayfoolish
11楼2014-01-04 20:29:33
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
之前看过一篇论文，是讲的金相组织对溅射薄膜组织的影响，用的就是SEM。里面全是棒槌状的晶粒，很清楚。此外还可以用SEM的EBSD。
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13楼2014-01-05 00:43:32
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-02 12:02:03
透射做这个。。估计制样要费很大功夫
...

基片用氯化钠片，出来之后用水一溶解，拿膜去做，制样很方便
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我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你，说明我很在乎你。如果我不能主动联系你，那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
14楼2014-01-05 00:57:48
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普通回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
还是直接上TEM吧，看的清楚
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哈哈哈哈，来吧
5楼2014-01-02 11:57:35
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-01-02 11:57:35
还是直接上TEM吧，看的清楚

透射做这个。。估计制样要费很大功夫

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2014-01-02 12:02:03
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SEM做金属薄膜材料不太合适吧，做EDX说不定就穿透薄膜打到聚碳酸酯上了，最好是AFM。
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7楼2014-01-02 16:17:19
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SEM如果能看的话，说明你的薄膜做的粗糙度很差。
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9楼2014-01-02 19:21:52
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-01 21:02:03
透射做这个。。估计制样要费很大功夫
...

是啊，但是比较清楚。看技术咯
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哈哈哈哈，来吧
10楼2014-01-04 08:01:05
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