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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？
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houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与

如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。
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1楼 2014-01-02 09:18:35
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
之前看过一篇论文，是讲的金相组织对溅射薄膜组织的影响，用的就是SEM。里面全是棒槌状的晶粒，很清楚。此外还可以用SEM的EBSD。
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13楼2014-01-05 00:43:32
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