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houhualong木虫 (正式写手)
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磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与
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| 如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。 |
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peterflyer 
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13楼2014-01-05 00:43:32