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houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与

如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。
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爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
1楼 2014-01-02 09:18:35
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1919-lzu

铜虫 (小有名气)
我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜，在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。
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stayhungry,stayfoolish
11楼2014-01-04 20:29:33
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superpdy

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
sem还是可以看见的，不过只是表面的情况，最好再看一下抛面确定晶粒生长的情况。顺便afm是看表面形貌的，比如粗糙度。如果你们的sem中有eds确定下晶粒的成分是你要找的晶粒更好

[ 发自小木虫客户端 ]
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北京北京
2楼2014-01-02 10:07:22
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surface97

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试 SEM 吧，说不定可以 AFM 基本上只能看表面轮廓
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看一下这个帖子，SCI论文一点通：http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=6697689
3楼2014-01-02 10:22:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描不行的，溅射的膜一般都非常平的，扫描看不出啥东西，不过前提是你基底非常平质量很好，场发射扫描的能力在20nm以下的颗粒就不擅长了，10nm基本就很难看到了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-01-02 11:30:21
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