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houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀金属膜,SEM可以看到晶粒大小吗,还是用AFM?已有13人参与

如题,磁控溅射镀金属膜,SEM可以看到晶粒大小吗,还是用AFM?我是在不同功率、不同气压下做的,想看看各个参数下的形貌有什么区别,估计低倍下受基体划痕影响较大,想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友,传授一下经验,O(∩_∩)O谢谢。
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surface97

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
试试 SEM 吧,说不定可以 AFM 基本上只能看表面轮廓
看一下这个帖子,SCI论文一点通:http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=6697689
3楼2014-01-02 10:22:31
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superpdy

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
sem还是可以看见的,不过只是表面的情况,最好再看一下抛面确定晶粒生长的情况。顺便afm是看表面形貌的,比如粗糙度。如果你们的sem中有eds确定下晶粒的成分是你要找的晶粒更好

[ 发自小木虫客户端 ]
北京北京
2楼2014-01-02 10:07:22
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
扫描不行的,溅射的膜一般都非常平的,扫描看不出啥东西,不过前提是你基底非常平质量很好,场发射扫描的能力在20nm以下的颗粒就不擅长了,10nm基本就很难看到了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-01-02 11:30:21
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
还是直接上TEM吧,看的清楚
哈哈哈哈,来吧
5楼2014-01-02 11:57:35
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