| 查看: 4278 | 回复: 24 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
houhualong木虫 (正式写手)
|
[求助]
磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与
|
||
| 如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有216人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
河北大学无机化学专业招收调剂生
已经有0人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
河北大学 材料与化工 硕士招收调剂
已经有0人回复
fyl1989
金虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1194.1
- 散金: 26
- 红花: 10
- 帖子: 507
- 在线: 151.1小时
- 虫号: 2245000
- 注册: 2013-01-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-01-07 17:02:05
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-01-07 17:02:05
| 我们这两种都做过，先说SEM吧（拿TiN薄膜为例），我们是直接在Si衬底上生长TiN,正如楼上有人所说，由于薄膜表面平坦度较好，所以可能导致SEM图的Contrast较低，图像分辨的不是很清楚，但还是可以看到的晶粒的，不过这要取决于薄膜的厚度和SEM的水平了。对于AFM，这个看表明的晶粒基本是没有什么问题的（如果你只是为了看看不同条件对晶粒的影响），不过要想计算平均晶粒尺寸，还需要特定的软件，我们在做金属氧化物正交实验时发现，功率是影响晶粒大小的关键因素，而压强、靶基距、气体流量对晶粒的影响不大，可以作为对薄膜淀积的参考（仅限参考），所以，你要想观察晶粒尺寸的话，AFM和SEM都可用（推荐使用AFM），就看你AFM和SEM的水平了。PS：AFM和SEM在同样比例尺下的图可能观察到的晶粒完全不同，这很正常，因为前者是利用探针和物体表面接触反馈进行的成像，而后者是利用二次电子进行的成像，所以如果你想要进行比较，最好是在同一种表征手段下进行比较，否则可比性不大。希望对你有所帮助！ |
17楼2014-01-05 10:27:52
superpdy
金虫 (著名写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 1373.6
- 沙发: 8
- 帖子: 1081
- 在线: 51.7小时
- 虫号: 2762315
- 注册: 2013-10-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2014-01-02 10:07:22
3楼2014-01-02 10:22:31
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - MN-EPI: 2
- 应助: 4105 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47567.7
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 14997
- 在线: 7316.1小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
4楼2014-01-02 11:30:21
