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1919-lzu

铜虫 (小有名气)

我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜,在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。
stayhungry,stayfoolish
11楼2014-01-04 20:29:33
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
11楼: Originally posted by 1919-lzu at 2014-01-04 20:29:33
我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜,在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。

ITO确实晶粒算比较大的,Au,Pt啥的很难看到的
12楼2014-01-04 20:37:44
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
之前看过一篇论文,是讲的金相组织对溅射薄膜组织的影响,用的就是SEM。里面全是棒槌状的晶粒,很清楚。此外还可以用SEM的EBSD。
13楼2014-01-05 00:43:32
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-02 12:02:03
透射做这个。。估计制样要费很大功夫
...

基片用氯化钠片,出来之后用水一溶解,拿膜去做,制样很方便
我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你,说明我很在乎你。如果我不能主动联系你,那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
14楼2014-01-05 00:57:48
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
14楼: Originally posted by jqz0001 at 2014-01-05 00:57:48
基片用氯化钠片,出来之后用水一溶解,拿膜去做,制样很方便...

不太好吧,基底不一样溅射上去的形貌差的很多恩
15楼2014-01-05 01:52:47
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puzhenggan

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

个人觉得AFM、SEM都不可以看见你说的晶粒生长情况,因为采用溅射制得的薄膜样品一般来说都是相当薄的,小于1微米是正常的。如果想通过抛光+AFM、SEM看,恐怕办不到。 采用TEM就肯定可以看见。
16楼2014-01-05 10:01:09
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fyl1989

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-01-07 17:02:05
我们这两种都做过,先说SEM吧(拿TiN薄膜为例),我们是直接在Si衬底上生长TiN,正如楼上有人所说,由于薄膜表面平坦度较好,所以可能导致SEM图的Contrast较低,图像分辨的不是很清楚,但还是可以看到的晶粒的,不过这要取决于薄膜的厚度和SEM的水平了。对于AFM,这个看表明的晶粒基本是没有什么问题的(如果你只是为了看看不同条件对晶粒的影响),不过要想计算平均晶粒尺寸,还需要特定的软件,我们在做金属氧化物正交实验时发现,功率是影响晶粒大小的关键因素,而压强、靶基距、气体流量对晶粒的影响不大,可以作为对薄膜淀积的参考(仅限参考),所以,你要想观察晶粒尺寸的话,AFM和SEM都可用(推荐使用AFM),就看你AFM和SEM的水平了。PS:AFM和SEM在同样比例尺下的图可能观察到的晶粒完全不同,这很正常,因为前者是利用探针和物体表面接触反馈进行的成像,而后者是利用二次电子进行的成像,所以如果你想要进行比较,最好是在同一种表征手段下进行比较,否则可比性不大。希望对你有所帮助!
17楼2014-01-05 10:27:52
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看情况,膜的结晶性好的话,用场发射的SEM应该是可以的,不过还是觉得有点难
18楼2014-01-05 16:48:43
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houhualong

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by Adrean at 2014-01-02 18:09:22
不知镀的是何种金属,不同金属颗粒大小不同,在SEM下可以看到,但是不同溅射条件产生的颗粒大小差别甚微,需要高放大倍数才能看到,本人做过Ag颗粒大小在不同溅射条件的探讨,颗粒大小在SEM下可辨

镁合金上镀钛
爱之于我,不是肌肤之亲,不是一蔬一饭,它是一种不死的欲望,是疲惫生活中的英雄梦想
19楼2014-01-07 17:04:43
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houhualong

木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-01-04 08:01:05
是啊,但是比较清楚。看技术咯...

不但要看技术,还要看钱包
爱之于我,不是肌肤之亲,不是一蔬一饭,它是一种不死的欲望,是疲惫生活中的英雄梦想
20楼2014-01-07 17:06:17
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