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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？
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1919-lzu

铜虫 (小有名气)
我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜，在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。
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stayhungry,stayfoolish
11楼2014-01-04 20:29:33
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 1919-lzu at 2014-01-04 20:29:33
我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜，在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。

ITO确实晶粒算比较大的，Au，Pt啥的很难看到的
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12楼2014-01-04 20:37:44
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
之前看过一篇论文，是讲的金相组织对溅射薄膜组织的影响，用的就是SEM。里面全是棒槌状的晶粒，很清楚。此外还可以用SEM的EBSD。
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13楼2014-01-05 00:43:32
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-02 12:02:03
透射做这个。。估计制样要费很大功夫
...

基片用氯化钠片，出来之后用水一溶解，拿膜去做，制样很方便
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我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你，说明我很在乎你。如果我不能主动联系你，那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
14楼2014-01-05 00:57:48
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
14楼: Originally posted by jqz0001 at 2014-01-05 00:57:48
基片用氯化钠片，出来之后用水一溶解，拿膜去做，制样很方便...

不太好吧，基底不一样溅射上去的形貌差的很多恩
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15楼2014-01-05 01:52:47
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puzhenggan

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

个人觉得AFM、SEM都不可以看见你说的晶粒生长情况，因为采用溅射制得的薄膜样品一般来说都是相当薄的，小于1微米是正常的。如果想通过抛光+AFM、SEM看，恐怕办不到。 采用TEM就肯定可以看见。
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16楼2014-01-05 10:01:09
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fyl1989

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-01-07 17:02:05
我们这两种都做过，先说SEM吧（拿TiN薄膜为例），我们是直接在Si衬底上生长TiN,正如楼上有人所说，由于薄膜表面平坦度较好，所以可能导致SEM图的Contrast较低，图像分辨的不是很清楚，但还是可以看到的晶粒的，不过这要取决于薄膜的厚度和SEM的水平了。对于AFM，这个看表明的晶粒基本是没有什么问题的（如果你只是为了看看不同条件对晶粒的影响），不过要想计算平均晶粒尺寸，还需要特定的软件，我们在做金属氧化物正交实验时发现，功率是影响晶粒大小的关键因素，而压强、靶基距、气体流量对晶粒的影响不大，可以作为对薄膜淀积的参考（仅限参考），所以，你要想观察晶粒尺寸的话，AFM和SEM都可用（推荐使用AFM），就看你AFM和SEM的水平了。PS：AFM和SEM在同样比例尺下的图可能观察到的晶粒完全不同，这很正常，因为前者是利用探针和物体表面接触反馈进行的成像，而后者是利用二次电子进行的成像，所以如果你想要进行比较，最好是在同一种表征手段下进行比较，否则可比性不大。希望对你有所帮助！
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17楼2014-01-05 10:27:52
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看情况，膜的结晶性好的话，用场发射的SEM应该是可以的，不过还是觉得有点难
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18楼2014-01-05 16:48:43
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houhualong

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Adrean at 2014-01-02 18:09:22
不知镀的是何种金属，不同金属颗粒大小不同，在SEM下可以看到，但是不同溅射条件产生的颗粒大小差别甚微，需要高放大倍数才能看到，本人做过Ag颗粒大小在不同溅射条件的探讨，颗粒大小在SEM下可辨

镁合金上镀钛
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爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
19楼2014-01-07 17:04:43
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houhualong

木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-01-04 08:01:05
是啊，但是比较清楚。看技术咯...

不但要看技术，还要看钱包
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爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
20楼2014-01-07 17:06:17
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