应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？
52/1返回列表
查看: 4227  |  回复: 24
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与

如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。
回复此楼

» 猜你喜欢
爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
1楼 2014-01-02 09:18:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 1919-lzu at 2014-01-04 20:29:33
我前些日子做过磁控溅射镀的In2O3膜，在SEM下可以看见一个挨着一个的颗粒。

ITO确实晶粒算比较大的，Au，Pt啥的很难看到的
赞一下 回复此楼
12楼2014-01-04 20:37:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 25 个回答

superpdy

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
sem还是可以看见的，不过只是表面的情况，最好再看一下抛面确定晶粒生长的情况。顺便afm是看表面形貌的，比如粗糙度。如果你们的sem中有eds确定下晶粒的成分是你要找的晶粒更好

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
北京北京
2楼2014-01-02 10:07:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

surface97

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试 SEM 吧，说不定可以 AFM 基本上只能看表面轮廓
赞一下(1人) 回复此楼
看一下这个帖子，SCI论文一点通：http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=6697689
3楼2014-01-02 10:22:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描不行的，溅射的膜一般都非常平的，扫描看不出啥东西，不过前提是你基底非常平质量很好，场发射扫描的能力在20nm以下的颗粒就不擅长了，10nm基本就很难看到了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-01-02 11:30:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 25 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 被我言中：新模板不强调格式了，假专家开始管格式了 +3 beefly 2026-03-14 3/150 2026-03-17 16:45 by RRRKKK
[考研] 材料与化工求调剂 +5 为学666 2026-03-16 5/250 2026-03-17 16:40 by 无际的草原
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +3 困于星晨 2026-03-17 3/150 2026-03-17 14:08 by ms629
[考研] 0854可跨调剂，一作一项核心论文五项专利，省、国级证书40+数一英一287 +3 小李0854 2026-03-16 3/150 2026-03-17 13:40 by 热情沙漠
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨； 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历 +7 曦熙兮 2026-03-15 7/350 2026-03-16 16:34 by houyaoxu
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +6 RuitingC 2026-03-12 6/300 2026-03-16 14:50 by 可淡不可忘
[教师之家] 焦虑 +7 水冰月月野兔 2026-03-13 9/450 2026-03-16 10:00 by Quakerbird
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[考研] 材料080500调剂求收留 +3 一颗meteor 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:54 by peike
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +4 番茄头--- 2026-03-10 4/200 2026-03-13 23:12 by JourneyLucky
[考研] 285 求调剂 资源与环境 一志愿北京化工大学 +3 未名考生 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:04 by JourneyLucky
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂（食品/专硕） +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭