应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？
52/1返回列表
查看: 4227  |  回复: 24
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？ 已有13人参与

如题，磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？我是在不同功率、不同气压下做的，想看看各个参数下的形貌有什么区别，估计低倍下受基体划痕影响较大，想通过高倍看看晶粒大小有什么变化。不知有没有这样做的虫友，传授一下经验，O(∩_∩)O谢谢。
回复此楼

» 猜你喜欢
爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
1楼 2014-01-02 09:18:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

puzhenggan

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

个人觉得AFM、SEM都不可以看见你说的晶粒生长情况，因为采用溅射制得的薄膜样品一般来说都是相当薄的，小于1微米是正常的。如果想通过抛光+AFM、SEM看，恐怕办不到。 采用TEM就肯定可以看见。
赞一下 回复此楼
16楼2014-01-05 10:01:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 25 个回答

superpdy

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
sem还是可以看见的，不过只是表面的情况，最好再看一下抛面确定晶粒生长的情况。顺便afm是看表面形貌的，比如粗糙度。如果你们的sem中有eds确定下晶粒的成分是你要找的晶粒更好

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
北京北京
2楼2014-01-02 10:07:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

surface97

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试 SEM 吧，说不定可以 AFM 基本上只能看表面轮廓
赞一下(1人) 回复此楼
看一下这个帖子，SCI论文一点通：http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=6697689
3楼2014-01-02 10:22:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描不行的，溅射的膜一般都非常平的，扫描看不出啥东西，不过前提是你基底非常平质量很好，场发射扫描的能力在20nm以下的颗粒就不擅长了，10nm基本就很难看到了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-01-02 11:30:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 25 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 268求调剂 +8 一定有学上- 2026-03-14 9/450 2026-03-17 17:47 by laoshidan
[考研] 293求调剂 +6 世界首富 2026-03-11 6/300 2026-03-17 17:04 by ruiyingmiao
[考研] 290求调剂 +6 孔志浩 2026-03-12 11/550 2026-03-17 14:41 by 周舟舟77
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[教师之家] 焦虑 +7 水冰月月野兔 2026-03-13 9/450 2026-03-16 10:00 by Quakerbird
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+5 NSFC2026我来了 2026-03-10 14/700 2026-03-15 23:53 by 不负韶华的虎
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油！? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 材料080500调剂求收留 +3 一颗meteor 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:54 by peike
[考研] 331求调剂（0703有机化学 +5 ZY-05 2026-03-13 6/300 2026-03-14 10:51 by Jy?
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕288分求调剂 一志愿211 +4 在家想你 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:49 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 336求调剂 +6 Iuruoh 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:06 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭