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烘烤后lift-off问题
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| 本人新做工艺,用的是Si基,光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂,光刻时坚膜了,现在用丙酮lift-off,很难剥离。大家有什么好的解决办法呢?非常感谢! |
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