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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 烘烤后lift-off问题
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lyln

铜虫 (小有名气)

[求助] 烘烤后lift-off问题

本人新做工艺，用的是Si基，光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂，光刻时坚膜了，现在用丙酮lift-off，很难剥离。大家有什么好的解决办法呢？非常感谢！
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@静静一yi

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最近很彷徨
1楼 2013-08-22 10:41:31
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

qingpingzi

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻胶有多厚？金有多厚？
试试超声吧，如果不行就只能重新做了。
坚膜了，光刻胶边缘会有些坍塌，金属没有完全隔离开，是很难lift-off了。
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2楼2013-08-22 11:48:41
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qingpingzi

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by lyln at 2013-08-22 12:01:15
光刻胶3um,金2um.
该工艺前面已经花了2个多月了，重做谈何容易...

蒸发2um？我觉得即使超声也几乎不太可能了
可以重做lift-off这一步，把金腐蚀掉，重新光刻，光刻胶厚度需要再厚一些，最好采用负胶
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5楼2013-08-22 12:06:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by lyln at 2013-08-22 12:01:15
光刻胶3um,金2um.
该工艺前面已经花了2个多月了，重做谈何容易...

都是没人管的孩子，设计完工艺都没人帮忙check的。
难道没有陪片吗？谁指导的你工艺？体育老师？
新手，一定要选专门做lift off的胶啊，或者是做双层胶工艺，否则会死很惨。
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6楼2013-08-22 13:10:24
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普通回帖

lyln

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-08-22 11:48:41
光刻胶有多厚？金有多厚？
试试超声吧，如果不行就只能重新做了。
坚膜了，光刻胶边缘会有些坍塌，金属没有完全隔离开，是很难lift-off了。

光刻胶3um,金2um.
该工艺前面已经花了2个多月了，重做谈何容易
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最近很彷徨
3楼2013-08-22 12:01:15
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lyln

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-08-22 11:48:41
光刻胶有多厚？金有多厚？
试试超声吧，如果不行就只能重新做了。
坚膜了，光刻胶边缘会有些坍塌，金属没有完全隔离开，是很难lift-off了。

大侠，用浓H2SO4+H2O2可以吗？
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最近很彷徨
4楼2013-08-22 12:05:40
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这liftoff胶和金的厚度差太小了，当然说的是和基数比，毕竟金都2um呢。一般正性光刻胶即使后烘坚膜了，用丙酮也该能去掉的，最多也就加上超声。主要原因一个是坚膜时边缘坍塌造成镀的金膜把胶都覆盖了，另外一个是你的深度差太小了，这两个其实占到一个都可以liftoff的，只是你这个两个都占到了。另外 我不知道这个实验需要做2个多月吗？无非就是光刻加镀膜而已！

不过 LZ这2um的金膜我确实没镀过！
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7楼2013-08-22 18:09:41
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peiwhpeiwh

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
金2微米，胶3微米肯定剥离不了。干什么需要这么厚的金？一般我们剥离用一个多微米的胶，金在150纳米比较好剥离，超过200微米都有些不好剥了。照此比例你的胶应该在12微米以上，当然还要求胶是倒台的。

[ 发自小木虫客户端 ]
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寻求IDEA
8楼2013-08-22 20:52:57
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
重做吧
一步光刻+一步金而已 怎么要2个月
这么厚的金 要做什么
一般我们键合的时候才要这么厚
返工吧
要么厚胶 厚度比至少要大于1:3吧 不然很难剥离
要么直接用专用的lift-off的胶
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9楼2013-08-23 12:23:39
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zj11

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用5um的厚胶，剥前，超声一下，应该没问题的
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10楼2013-08-23 13:02:07
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