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lyln

铜虫 (小有名气)

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[求助] 烘烤后lift-off问题

本人新做工艺，用的是Si基，光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂，光刻时坚膜了，现在用丙酮lift-off，很难剥离。大家有什么好的解决办法呢？非常感谢！

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@静静一yi

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babyoflion

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

你这liftoff胶和金的厚度差太小了，当然说的是和基数比，毕竟金都2um呢。一般正性光刻胶即使后烘坚膜了，用丙酮也该能去掉的，最多也就加上超声。主要原因一个是坚膜时边缘坍塌造成镀的金膜把胶都覆盖了，另外一个是你的深度差太小了，这两个其实占到一个都可以liftoff的，只是你这个两个都占到了。另外我不知道这个实验需要做2个多月吗？无非就是光刻加镀膜而已！

不过 LZ这2um的金膜我确实没镀过！