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lyln

铜虫 (小有名气)

[求助] 烘烤后lift-off问题

本人新做工艺,用的是Si基,光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂,光刻时坚膜了,现在用丙酮lift-off,很难剥离。大家有什么好的解决办法呢?非常感谢!
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最近很彷徨
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
重做吧
一步光刻+一步金而已 怎么要2个月
这么厚的金 要做什么
一般我们键合的时候才要这么厚
返工吧
要么厚胶 厚度比至少要大于1:3吧 不然很难剥离
要么直接用专用的lift-off的胶
9楼2013-08-23 12:23:39
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qingpingzi

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
光刻胶有多厚?金有多厚?
试试超声吧,如果不行就只能重新做了。
坚膜了,光刻胶边缘会有些坍塌,金属没有完全隔离开,是很难lift-off了。
2楼2013-08-22 11:48:41
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lyln

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-08-22 11:48:41
光刻胶有多厚?金有多厚?
试试超声吧,如果不行就只能重新做了。
坚膜了,光刻胶边缘会有些坍塌,金属没有完全隔离开,是很难lift-off了。

光刻胶3um,金2um.
该工艺前面已经花了2个多月了,重做谈何容易
最近很彷徨
3楼2013-08-22 12:01:15
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lyln

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-08-22 11:48:41
光刻胶有多厚?金有多厚?
试试超声吧,如果不行就只能重新做了。
坚膜了,光刻胶边缘会有些坍塌,金属没有完全隔离开,是很难lift-off了。

大侠,用浓H2SO4+H2O2可以吗?
最近很彷徨
4楼2013-08-22 12:05:40
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