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spinwave

木虫 (正式写手)

这么厚的金表示剥离不掉,这样厚的金通常是用负胶反刻蚀的吧
come on
11楼2013-08-23 18:23:14
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supconsimit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by lyln at 2013-08-22 12:05:40
大侠,用浓H2SO4+H2O2可以吗?...

这样还有Au剩下吗?
12楼2013-08-24 11:07:11
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supconsimit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

请lz详细说一下你的工艺,用的什么胶?
光刻做的比较少,我一般做电子束曝光,这种情况下,用两层胶,蒸发的金属厚度一般不超过胶厚的三分之一,会好剥离。
然后你liftoff用的丙酮吗?最好水浴加热55度。
万不得已不要超声。试试注射器,吹一下。
13楼2013-08-24 11:10:51
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supconsimit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by lyln at 2013-08-22 12:01:15
光刻胶3um,金2um.
该工艺前面已经花了2个多月了,重做谈何容易...

摸工艺是需要的时间的,就是参考别人的经验,自己一步步试。
14楼2013-08-24 11:12:42
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fangzhonga

银虫 (初入文坛)

建议你水浴加热到80度以上,看会不会起皱,如果起皱还有得救,用超声或者注射器喷一下就行了。不过应该不行,正常情况下,金属和胶的厚度比最好是1比5以上。你这种厚度很难做,还不如先蒸金,然后用IBE刻。
15楼2013-08-31 12:42:19
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famouswm

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

16楼2015-04-01 19:30:50
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famouswm

禁虫 (小有名气)

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17楼2015-04-01 19:32:49
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容! 2017-07-25 23:16:40
本帖内容被屏蔽

18楼2015-04-02 12:09:19
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acet050

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
13楼: Originally posted by supconsimit at 2013-08-24 11:10:51
请lz详细说一下你的工艺,用的什么胶?
光刻做的比较少,我一般做电子束曝光,这种情况下,用两层胶,蒸发的金属厚度一般不超过胶厚的三分之一,会好剥离。
然后你liftoff用的丙酮吗?最好水浴加热55度。
万不得 ...

您好!最好我们也在做ebl的,同样涂了两层胶,但是在lift-off这也有非常大的问题,不知道您能不能讨论回答一下 http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=9158762  我这里遇到的问题呢?谢谢!
19楼2015-07-13 12:34:17
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