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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 烘烤后lift-off问题
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spinwave

木虫 (正式写手)
这么厚的金表示剥离不掉，这样厚的金通常是用负胶反刻蚀的吧
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come on
11楼2013-08-23 18:23:14
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supconsimit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by lyln at 2013-08-22 12:05:40
大侠，用浓H2SO4+H2O2可以吗？...

这样还有Au剩下吗？
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12楼2013-08-24 11:07:11
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supconsimit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

请lz详细说一下你的工艺，用的什么胶？
光刻做的比较少，我一般做电子束曝光，这种情况下，用两层胶，蒸发的金属厚度一般不超过胶厚的三分之一，会好剥离。
然后你liftoff用的丙酮吗？最好水浴加热55度。
万不得已不要超声。试试注射器，吹一下。
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13楼2013-08-24 11:10:51
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supconsimit

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by lyln at 2013-08-22 12:01:15
光刻胶3um,金2um.
该工艺前面已经花了2个多月了，重做谈何容易...

摸工艺是需要的时间的，就是参考别人的经验，自己一步步试。
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14楼2013-08-24 11:12:42
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fangzhonga

银虫 (初入文坛)
建议你水浴加热到80度以上，看会不会起皱，如果起皱还有得救，用超声或者注射器喷一下就行了。不过应该不行，正常情况下，金属和胶的厚度比最好是1比5以上。你这种厚度很难做，还不如先蒸金，然后用IBE刻。
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15楼2013-08-31 12:42:19
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famouswm

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
16楼2015-04-01 19:30:50
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famouswm

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
17楼2015-04-01 19:32:49
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:16:40
本帖内容被屏蔽
18楼2015-04-02 12:09:19
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acet050

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by supconsimit at 2013-08-24 11:10:51
请lz详细说一下你的工艺，用的什么胶？
光刻做的比较少，我一般做电子束曝光，这种情况下，用两层胶，蒸发的金属厚度一般不超过胶厚的三分之一，会好剥离。
然后你liftoff用的丙酮吗？最好水浴加热55度。
万不得 ...

您好！最好我们也在做ebl的，同样涂了两层胶，但是在lift-off这也有非常大的问题，不知道您能不能讨论回答一下 http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=9158762  我这里遇到的问题呢？谢谢！
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19楼2015-07-13 12:34:17
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