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烘烤后lift-off问题
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| 本人新做工艺,用的是Si基,光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂,光刻时坚膜了,现在用丙酮lift-off,很难剥离。大家有什么好的解决办法呢?非常感谢! |
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spinwave
木虫 (正式写手)
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11楼2013-08-23 18:23:14
qingpingzi
新虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2013-08-22 11:48:41

3楼2013-08-22 12:01:15

4楼2013-08-22 12:05:40













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,重做谈何容易