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烘烤后lift-off问题
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| 本人新做工艺，用的是Si基，光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂，光刻时坚膜了，现在用丙酮lift-off，很难剥离。大家有什么好的解决办法呢？非常感谢！ |
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10楼2013-08-23 13:02:07
qingpingzi
新虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2013-08-22 11:48:41
，重做谈何容易 3楼2013-08-22 12:01:15
4楼2013-08-22 12:05:40
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