| 查看: 3534 | 回复: 18 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
烘烤后lift-off问题
|
||
| 本人新做工艺，用的是Si基，光刻后再蒸发金。由于初做工艺不懂，光刻时坚膜了，现在用丙酮lift-off，很难剥离。大家有什么好的解决办法呢？非常感谢！ |
回复此楼» 本帖@通知
» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有177人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于光刻胶的一些问题
已经有12人回复
- 光刻胶烘烤工艺
已经有5人回复
- 锂离子电池极片烘烤靠温度的几个问题
已经有32人回复
- 询问大家做lift-off都用什么胶？
已经有15人回复
- 光刻胶烘烤的问题
已经有10人回复
10楼2013-08-23 13:02:07
qingpingzi
新虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 1539.8
- 散金: 2961
- 红花: 6
- 帖子: 899
- 在线: 411.7小时
- 虫号: 819799
- 注册: 2009-08-01
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2013-08-22 11:48:41
，重做谈何容易 3楼2013-08-22 12:01:15
4楼2013-08-22 12:05:40
