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薄膜SEM测试问题
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maybelin
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薄膜SEM测试问题
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做薄膜的sem测试,薄膜参杂无机粒子,想看表面形貌,里面粒子的分散效果。喷铂电镜下后为什么看不见?
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1楼
2013-05-16 16:25:59
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maybelin
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Originally posted by
qwcmos
at 2013-05-20 15:55:10
我想是你喷铂的时间太久了,掩盖了本来的形貌。
你可以喷碳,10nm左右就好。
恩好的谢谢啦
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7楼
2013-05-21 09:00:59
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你做的粒子有多大啊
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2013-05-16 16:41:05
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maybelin
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2楼
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gxytju2008
at 2013-05-16 16:41:05
你做的粒子有多大啊
无机粒子硅溶胶,不是无机粒子看不见,是整个电镜视野看不见东西,好像是镀的铂没上去,喷的时候时间特意加长了,难道挥发了?
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3楼
2013-05-17 08:48:04
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qwcmos
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我想是你喷铂的时间太久了,掩盖了本来的形貌。
你可以喷碳,10nm左右就好。
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4楼
2013-05-20 15:55:10
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