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maybelin

铜虫 (初入文坛)

[交流] 薄膜SEM测试问题 已有3人参与

做薄膜的sem测试,薄膜参杂无机粒子,想看表面形貌,里面粒子的分散效果。喷铂电镜下后为什么看不见?
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maybelin

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-05-16 16:41:05
你做的粒子有多大啊

无机粒子硅溶胶,不是无机粒子看不见,是整个电镜视野看不见东西,好像是镀的铂没上去,喷的时候时间特意加长了,难道挥发了?
3楼2013-05-17 08:48:04
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你做的粒子有多大啊
2楼2013-05-16 16:41:05
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qwcmos

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我想是你喷铂的时间太久了,掩盖了本来的形貌。
你可以喷碳,10nm左右就好。
4楼2013-05-20 15:55:10
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maybelin

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 21651119 at 2013-05-20 15:58:09
可以试试喷金

恩  好的额谢谢啦
6楼2013-05-21 09:00:34
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