| 查看: 1608 | 回复: 5 | |||
pcsmine木虫 (著名写手)
|
[求助]
PZT薄膜问题？
|
|
本人用SOL-GEL法制备PZT薄膜，基片用的是 Pt/Ti/SiO2/Si，做出来的薄膜性能不是太好，断面SEM照片看到薄膜和基片分开了，老师说我的薄膜粘附性不好，请教各位，是这样么？ 还有成分测试（XPS、EPMA）结果显示Zr/Ti比例比理论值偏高，不知道这是为什么，有高人能指点么？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 PZT讨论 |
» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有4人回复
-
售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有6人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- PZT薄膜的退火问题
已经有7人回复
- PZT 薄膜 基板的选择 不同的基板所针对的应用领域区别？？？？
已经有7人回复
- 用于溶胶凝胶制备PZT薄膜的硅片 一般是N型 还是P型呢
已经有13人回复
- 为什么溶胶凝胶制备pzt薄膜时，一般选用Pt/Ti/SiO2/Si基底 为什么用Pt 而不用Au
已经有6人回复
- PZT薄膜怎样从基片上溶解下来？
已经有5人回复
- 溶胶凝胶制备PZT薄膜 为什么都用si晶向为100作衬底 而不用si 111
已经有3人回复
- PZT薄膜XPS测试？
已经有5人回复
- 【求助】本人想用溶胶凝胶法制备PZT薄膜，但是看文献有个reflux（回流）过程，不知这�
已经有15人回复
- 【求助】PZT薄膜开裂
已经有14人回复
- 【求助】PZT薄膜电极的做法
已经有14人回复
diwunju
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6125.5
- 散金: 1162
- 红花: 16
- 帖子: 496
- 在线: 197.1小时
- 虫号: 498927
- 注册: 2008-02-05
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类电介质与电解
2楼2011-07-19 21:09:58
pcsmine
木虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 5588.2
- 散金: 368
- 红花: 7
- 帖子: 1815
- 在线: 349.7小时
- 虫号: 996431
- 注册: 2010-04-14
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2011-07-19 21:15:57
diwunju
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6125.5
- 散金: 1162
- 红花: 16
- 帖子: 496
- 在线: 197.1小时
- 虫号: 498927
- 注册: 2008-02-05
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类电介质与电解
【答案】应助回帖
★
Missile521(金币+1): 有金币拿！！再次奖励~~ 2011-07-20 09:08:20
pcsmine(金币+5): 谢谢，说的有道理，做表面的EPMA不知道效果怎么样，它的探测深度有多深啊？ICP倒是可以做，但是怎么溶解薄膜呢？ 2011-07-20 09:11:54
Missile521(金币+1): 有金币拿！！再次奖励~~ 2011-07-20 09:08:20
pcsmine(金币+5): 谢谢，说的有道理，做表面的EPMA不知道效果怎么样，它的探测深度有多深啊？ICP倒是可以做，但是怎么溶解薄膜呢？ 2011-07-20 09:11:54
|
如果一系列样品Zr/Ti都偏高，那有可能就是XPS灵敏度因子引起的系统误差。XPS测成分是依靠灵敏度因子把谱线积分强度的比值换算成浓度的比值，但是这个灵敏度因子对原子序数大的元素特别不靠谱，因为这些元素的光电子强度随化学环境的影响很大，不是一个简单的因子能完全描述的。 还是用EPMA吧，就在表面做就行，喷一层薄薄的碳。虽然也要用到类似灵敏度因子的东西，但是这个却是对大原子序数的原子比较准，而且EPMA的能量分辨率很好，谱线背景很干净，X射线的峰很窄，比较好处理。 不过物理方法测成分总归是个不靠谱，测出来和你的nominal成分差不多，你就相信它，差得太多就forget it。ICP之类的化学方法会比较准，但是那个要把薄膜溶解掉。 有金币拿，就多写一点哈，呵呵 |
4楼2011-07-20 09:04:24
diwunju
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6125.5
- 散金: 1162
- 红花: 16
- 帖子: 496
- 在线: 197.1小时
- 虫号: 498927
- 注册: 2008-02-05
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类电介质与电解
5楼2011-07-20 09:29:57
pcsmine
木虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 5588.2
- 散金: 368
- 红花: 7
- 帖子: 1815
- 在线: 349.7小时
- 虫号: 996431
- 注册: 2010-04-14
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2011-07-20 09:33:47
