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pcsmine木虫 (著名写手)
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PZT薄膜问题？
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本人用SOL-GEL法制备PZT薄膜，基片用的是 Pt/Ti/SiO2/Si，做出来的薄膜性能不是太好，断面SEM照片看到薄膜和基片分开了，老师说我的薄膜粘附性不好，请教各位，是这样么？ 还有成分测试（XPS、EPMA）结果显示Zr/Ti比例比理论值偏高，不知道这是为什么，有高人能指点么？ |
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pcsmine
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