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pcsmine

木虫 (著名写手)

[求助] PZT薄膜XPS测试?

最近做了一批PZT薄膜,用XPS测试薄膜成分,结果和制备是的配比偏差很远啊,有没有人能给点解释啊?
花了3000元,却得不到想要的结果,不好交差啊,急急急!
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

★
zhangquan8385(金币+1): 鼓励下,不过感觉3000测一下也忒贵了 2011-06-17 13:22:13
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Originally posted by pcsmine at 2011-06-17 11:36:50:
最近做了一批PZT薄膜,用XPS测试薄膜成分,结果和制备是的配比偏差很远啊,有没有人能给点解释啊?
花了3000元,却得不到想要的结果,不好交差啊,急急急!

也不算太奇怪啊,最好用电子探针或者把薄膜溶解下来用ICP测一下。XPS测成分如果跟你想的一样你就用,差太远就把结果直接扔掉,偏差30%很正常的。
2楼2011-06-17 12:03:19
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pcsmine

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by diwunju at 2011-06-17 12:03:19:
也不算太奇怪啊,最好用电子探针或者把薄膜溶解下来用ICP测一下。XPS测成分如果跟你想的一样你就用,差太远就把结果直接扔掉,偏差30%很正常的。

电子探针怎么测呢?是测断面么?薄膜怎么溶解下来啊?
3楼2011-06-17 13:36:15
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huangzx1314

禁虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

pcsmine(金币+1): 2011-06-19 00:02:27
不知道楼主的薄膜做的有多厚~~

XPS是对表面元素的定性分析,包括价态。

所以,如果你要是薄膜比较厚,同时成分很容易受表面张力等原因发生成分偏析,所以你测得的元素组成很有可能和你的配比有较大的差距。

个人观点,没有做过相关方面的研究~~

4楼2011-06-17 18:51:22
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

★
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流! 2011-06-17 22:04:21
引用回帖:
Originally posted by pcsmine at 2011-06-17 13:36:15:
电子探针怎么测呢?是测断面么?薄膜怎么溶解下来啊?

电子探针就是一台波谱仪,就是把电子束打在样品表面,分析样品发出的X射线的波长获得成分的方法,一般PZT样品只要表面镀碳就可以了。

ICP更简单,直接氢氟酸把样品溶掉,溶液稀释稀释再稀释,就可以测了。具体稀释多少看仪器和测量的元素的,要问操作人员才好。

我的体会ICP比较准一些但是严重依赖操作人员的水平,探针是测成分的物理方法里最靠谱的。XPS最大的用处是测化学位移,测成分只是个副产品。
5楼2011-06-17 22:00:38
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pcsmine

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by diwunju at 2011-06-17 22:00:38:
电子探针就是一台波谱仪,就是把电子束打在样品表面,分析样品发出的X射线的波长获得成分的方法,一般PZT样品只要表面镀碳就可以了。

ICP更简单,直接氢氟酸把样品溶掉,溶液稀释稀释再稀释,就可以测了。具 ...

谢谢啦 想给个金币 不知在哪操作 不好意思啊
6楼2011-06-19 00:06:36
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