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pcsmine

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[求助] PZT薄膜XPS测试？

最近做了一批PZT薄膜，用XPS测试薄膜成分，结果和制备是的配比偏差很远啊，有没有人能给点解释啊？
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1楼 2011-06-17 11:36:50

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pcsmine

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引用回帖:

Originally posted by diwunju at 2011-06-17 12:03:19:
也不算太奇怪啊，最好用电子探针或者把薄膜溶解下来用ICP测一下。XPS测成分如果跟你想的一样你就用，差太远就把结果直接扔掉，偏差30%很正常的。

电子探针怎么测呢？是测断面么？薄膜怎么溶解下来啊？

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3楼2011-06-17 13:36:15

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diwunju

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zhangquan8385(金币+1): 鼓励下,不过感觉3000测一下也忒贵了 2011-06-17 13:22:13

引用回帖:

Originally posted by pcsmine at 2011-06-17 11:36:50:
最近做了一批PZT薄膜，用XPS测试薄膜成分，结果和制备是的配比偏差很远啊，有没有人能给点解释啊？
花了3000元，却得不到想要的结果，不好交差啊，急急急！

也不算太奇怪啊，最好用电子探针或者把薄膜溶解下来用ICP测一下。XPS测成分如果跟你想的一样你就用，差太远就把结果直接扔掉，偏差30%很正常的。

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2楼2011-06-17 12:03:19

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huangzx1314

禁虫 (知名作家)

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【答案】应助回帖

pcsmine(金币+1): 2011-06-19 00:02:27

不知道楼主的薄膜做的有多厚~~

XPS是对表面元素的定性分析，包括价态。

所以，如果你要是薄膜比较厚，同时成分很容易受表面张力等原因发生成分偏析，所以你测得的元素组成很有可能和你的配比有较大的差距。

个人观点，没有做过相关方面的研究~~

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4楼2011-06-17 18:51:22

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diwunju

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Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流！ 2011-06-17 22:04:21

引用回帖:

Originally posted by pcsmine at 2011-06-17 13:36:15:
电子探针怎么测呢？是测断面么？薄膜怎么溶解下来啊？

电子探针就是一台波谱仪，就是把电子束打在样品表面，分析样品发出的X射线的波长获得成分的方法，一般PZT样品只要表面镀碳就可以了。

ICP更简单，直接氢氟酸把样品溶掉，溶液稀释稀释再稀释，就可以测了。具体稀释多少看仪器和测量的元素的，要问操作人员才好。

我的体会ICP比较准一些但是严重依赖操作人员的水平，探针是测成分的物理方法里最靠谱的。XPS最大的用处是测化学位移，测成分只是个副产品。

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5楼2011-06-17 22:00:38

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