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pcsmine木虫 (著名写手)
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PZT薄膜问题？
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本人用SOL-GEL法制备PZT薄膜，基片用的是 Pt/Ti/SiO2/Si，做出来的薄膜性能不是太好，断面SEM照片看到薄膜和基片分开了，老师说我的薄膜粘附性不好，请教各位，是这样么？ 还有成分测试（XPS、EPMA）结果显示Zr/Ti比例比理论值偏高，不知道这是为什么，有高人能指点么？ |
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diwunju
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5楼2011-07-20 09:29:57
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3楼2011-07-19 21:15:57
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【答案】应助回帖
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Missile521(金币+1): 有金币拿！！再次奖励~~ 2011-07-20 09:08:20
pcsmine(金币+5): 谢谢，说的有道理，做表面的EPMA不知道效果怎么样，它的探测深度有多深啊？ICP倒是可以做，但是怎么溶解薄膜呢？ 2011-07-20 09:11:54
Missile521(金币+1): 有金币拿！！再次奖励~~ 2011-07-20 09:08:20
pcsmine(金币+5): 谢谢，说的有道理，做表面的EPMA不知道效果怎么样，它的探测深度有多深啊？ICP倒是可以做，但是怎么溶解薄膜呢？ 2011-07-20 09:11:54
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如果一系列样品Zr/Ti都偏高，那有可能就是XPS灵敏度因子引起的系统误差。XPS测成分是依靠灵敏度因子把谱线积分强度的比值换算成浓度的比值，但是这个灵敏度因子对原子序数大的元素特别不靠谱，因为这些元素的光电子强度随化学环境的影响很大，不是一个简单的因子能完全描述的。 还是用EPMA吧，就在表面做就行，喷一层薄薄的碳。虽然也要用到类似灵敏度因子的东西，但是这个却是对大原子序数的原子比较准，而且EPMA的能量分辨率很好，谱线背景很干净，X射线的峰很窄，比较好处理。 不过物理方法测成分总归是个不靠谱，测出来和你的nominal成分差不多，你就相信它，差得太多就forget it。ICP之类的化学方法会比较准，但是那个要把薄膜溶解掉。 有金币拿，就多写一点哈，呵呵 |
4楼2011-07-20 09:04:24
