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maybelin

铜虫 (初入文坛)

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[交流] 薄膜SEM测试问题已有3人参与

做薄膜的sem测试，薄膜参杂无机粒子，想看表面形貌，里面粒子的分散效果。喷铂电镜下后为什么看不见？

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1楼 2013-05-16 16:25:59

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qwcmos

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我想是你喷铂的时间太久了，掩盖了本来的形貌。
你可以喷碳，10nm左右就好。

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4楼2013-05-20 15:55:10

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gxytju2008

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你做的粒子有多大啊

2楼2013-05-16 16:41:05

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maybelin

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引用回帖:

2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-05-16 16:41:05
你做的粒子有多大啊

无机粒子硅溶胶，不是无机粒子看不见，是整个电镜视野看不见东西，好像是镀的铂没上去，喷的时候时间特意加长了，难道挥发了？

3楼2013-05-17 08:48:04

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maybelin

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引用回帖:

5楼: Originally posted by 21651119 at 2013-05-20 15:58:09
可以试试喷金

恩好的额谢谢啦

6楼2013-05-21 09:00:34

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