| 查看: 1838 | 回复: 14 | |||
[交流]
TCO衬底上金属氧化物薄膜方阻测试如何避免衬底影响
|
|||
|
用RTS-8型四探针仪测试氧化物薄膜方阻，这里面几项要点有： （1）通常TCO衬底都是简并半导体，所以跟样品薄膜之间应该是ohmic contact，所以不存在成结的条件，需要选用“薄膜方阻”技术； （2）因为纳米晶膜厚大概也就只有几百nm，当样品尺寸很大时，修正系数基本接近4.5324，无需进行额外的厚度和边缘修正； 然而LZ搞不清楚的是在这些条件下进行测试，电力线会不会穿透样品薄层进入TCO层，这样一来测得的数据就不单单是样品薄膜的方阻了。尽管有两种假设，即选取小电流或者将样品做厚，但似乎也排除不了电流进入TCO层的可能。另外，在“薄膜方阻”技术中有一个“膜厚”选项，给出这个选项的意义到底是什么？难道说测试的时候选取膜厚量级在100nm时，仪器会智能到自动选取一个适当大小的电流并只穿透100nm的有效厚度从而排除导电衬底的影响？盼望大牛解惑！ |
回复此楼» 猜你喜欢
中科院杭州医学所招收博士生一名（生物分析化学、药物递送）
已经有4人回复
-
求个博导看看
已经有18人回复
-
自荐读博
已经有6人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有5人回复
-
青基代表作，AAAI之类的A会的special track在国内认可度高吗？还是归为workshop之流？
已经有3人回复
-
上海工程技术大学【激光智能制造】课题组招收硕士
已经有6人回复
-
上海工程技术大学张培磊教授团队招收博士生
已经有4人回复
-
临港实验室与上科大联培博士招生1名
已经有9人回复
-
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- Al膜方阻测量。
已经有10人回复
- 求教：不锈钢衬底上的薄膜厚度用什么方法或仪器可以测量
已经有10人回复
- 求推荐四探针测试仪设备，测薄膜方阻、电阻率
已经有9人回复
- 二氧化钒热致变色薄膜衬底问题
已经有9人回复
- 测试无机氧化物半导体电阻-温度曲线用什么测试装置？
已经有7人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
武汉纺织大学电子与电气工程学院------院长团队招聘光电、材料类博士，博士后
+1/502
-
江汉大学招聘AI for Materials/电解液/锂金属/全固态电池等方面的博士或者博士后
+1/181
-
诚征另一半
+1/165
-
上海大学管理学院阳发军教授课题组全职博士/博士后招聘启事
+1/80
-
江苏科技大学能源材料化学课题组张俊豪教授招收博士研究生1-2名
+1/76
-
坐标北京不异地
+1/72
-
2026年黄河科技学院纳米功能材料研究所招聘
+2/64
-
87 年东北小哥定居苏州（沪杭亦可），诚寻携手余生的你
+1/60
-
华中科技大学龚江研究员课题组诚招博士研究生、科研助理和博士后
+3/57
-
深圳理工大学梁国进课题组招聘研究助理教授、博后多名（电化学储能方向）
+1/41
-
【招生啦招生啦】武汉理工大学朱曼副研究员招收2026年9月入学博士/硕士研究生
+1/28
-
暨南大学理工学院 光子技术研究院段宣明团队申请制读博招生
+1/28
-
南科大夏海平院士-深大张平玉课题组联合招聘博士后
+1/24
-
南京工业大学招收2026年全日制学术博士（供热、供燃气通风与空调）
+1/19
-
青岛大学 丁欣 课题组 招收2026秋化学博士1名
+1/8
-
求博导收留
+1/7
-
深容SCI智能体四大模块：Method, Introduction, Discussion, Abstract
+1/5
-
上海交通大学江文峰、周永丰教授课题组招聘博士生及博士后
+1/1
-
博士后网站系统登录
+1/1
-
哈工大马樱教授招收2026级计算机类博士生（长期有效，优秀者可以走快速通道）
+1/1
3楼2013-03-28 14:37:00
4楼2013-03-28 22:25:10
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，回答很详细，非常感谢 2013-03-29 07:56:48
lymmaotou: 金币+1 2013-04-01 13:39:40
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，回答很详细，非常感谢 2013-03-29 07:56:48
lymmaotou: 金币+1 2013-04-01 13:39:40
|
我的个人看法： （1） 用4探针法时，电极是否是欧姆接触对测量结果影响不是很大，而且通常设备上电极都加了一定压力到薄膜上，很容易实现良好接触。 （2）方组是不考虑厚度的；当你想把方阻换算成电阻率时，修正系数4.53是pai/In2，厚度是另外一个参数；至于你想更精确的计算结果，你可以做一些厚度或边缘修正，将厚度和探针间距等因素考虑进去，但结果差别不是很大。 （3）当你薄膜电阻率远远高于你TCO衬底电阻率的时候，你测的结果肯定不是你薄膜的方阻。要小心哦 |
5楼2013-03-29 05:19:08
6楼2013-03-29 10:33:15
7楼2013-03-29 12:04:26
8楼2013-03-29 12:53:14
9楼2013-03-29 14:20:59
10楼2013-03-29 15:57:21
11楼2013-03-29 16:56:09
12楼2013-03-29 17:26:52
你先去了解一下测试的原理吧 13楼2013-03-30 01:23:56
14楼2013-03-30 13:17:50
15楼2013-03-30 17:34:40
简单回复
fyz72322楼
2013-03-28 03:50
回复
zhaohaixing: 禁止纯灌水现象~~ 2013-03-28 08:43:58
