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二氧化硅刻蚀
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caoyinglele
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二氧化硅刻蚀
我想要对包覆了四氧化三铁的二氧化硅层进行刻蚀,使其表面出现孔状结构。没有找到比较适合的文献介绍这方面的,希望大家能推荐两篇或者给我一些启发。还有就是如果不做SEM TEM有什么比较简单直观的方法看刻蚀的程度如何吗?请大家帮帮忙!
[ 来自科研家族
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1楼
2013-03-22 15:16:30
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2楼
:
Originally posted by
fhf_1988
at 2013-03-22 17:20:50
Permeable Silica Shell through Surface-Protected Etching。Nano Lett.,Vol. 8, No. 9, 2008,2867-2871;殷亚东课题组,所谓的Surface-protected etching,他是先用PVP对SiO2进行保护,再用氢氧化钠进行选择性腐蚀 ...
好的,我看看。谢谢!还有没有HF刻蚀的文献呢?
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知识就是力量
3楼
2013-03-22 19:25:08
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希望大家多给点建议!谢谢啦!
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2013-03-28 08:53:34
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