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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 二氧化硅刻蚀
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caoyinglele

木虫 (小有名气)

[求助] 二氧化硅刻蚀

我想要对包覆了四氧化三铁的二氧化硅层进行刻蚀，使其表面出现孔状结构。没有找到比较适合的文献介绍这方面的，希望大家能推荐两篇或者给我一些启发。还有就是如果不做SEM TEM有什么比较简单直观的方法看刻蚀的程度如何吗？请大家帮帮忙！

[ 来自科研家族 纳米技术 ]
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知识就是力量
1楼 2013-03-22 15:16:30
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fhf_1988

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
caoyinglele: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-03-23 17:13:36
Permeable Silica Shell through Surface-Protected Etching。Nano Lett.,Vol. 8, No. 9, 2008，2867-2871；殷亚东课题组，所谓的Surface-protected etching,他是先用PVP对SiO2进行保护，再用氢氧化钠进行选择性腐蚀使SiO2出现孔结构
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每一分每一秒加油！
2楼2013-03-22 17:20:50
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caoyinglele

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fhf_1988 at 2013-03-22 17:20:50
Permeable Silica Shell through Surface-Protected Etching。Nano Lett.,Vol. 8, No. 9, 2008，2867-2871；殷亚东课题组，所谓的Surface-protected etching,他是先用PVP对SiO2进行保护，再用氢氧化钠进行选择性腐蚀 ...

好的，我看看。谢谢！还有没有HF刻蚀的文献呢？
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知识就是力量
3楼2013-03-22 19:25:08
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caoyinglele

木虫 (小有名气)
希望大家多给点建议！谢谢啦！
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知识就是力量
4楼2013-03-28 08:53:34
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