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chenxingkuan木虫 (正式写手)
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用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么?
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| 用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么?单晶,多晶还是非晶?应该是致密相吗? |
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chenxingkuan
木虫 (正式写手)
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2楼2013-03-18 22:18:34
yswyx
专家顾问 (著名写手)
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3楼2013-03-25 21:36:14









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