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chenxingkuan

木虫 (正式写手)

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[求助] 用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2，得到的SiO2物相是什么？

用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2，得到的SiO2物相是什么？单晶，多晶还是非晶？应该是致密相吗？

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一杯香茗，一卷书，偷得半日闲散；一抹斜阳，一壶酒，愿求半世逍遥

1楼 2013-03-18 22:14:24

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

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【答案】应助回帖

一般都认为是非晶，无定形。
不懂什么叫致密相，只知道有些做出来很致密，缺陷很少，不含杂质，可以抗KOH很久，有些就很差，极疏松。

3楼2013-03-25 21:36:14

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