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chenxingkuan

木虫 (正式写手)

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[求助] 用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么?

用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么?单晶,多晶还是非晶?应该是致密相吗?
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一杯香茗,一卷书,偷得半日闲散;一抹斜阳,一壶酒,愿求半世逍遥
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chenxingkuan

木虫 (正式写手)

2楼2013-03-18 22:18:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

一般都认为是非晶,无定形。
不懂什么叫致密相,只知道有些做出来很致密,缺陷很少,不含杂质,可以抗KOH很久,有些就很差,极疏松。
3楼2013-03-25 21:36:14
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