应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请教光刻的一些问题
51/1返回列表
查看: 1015  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 请教光刻的一些问题 已有3人参与

一篇光刻的文章，讲偏差的部分，原文：
Definition : the state of Abnormal optical condition,path ; It’s related to lens polishing & assembly accuracy.
There are around 6 kinds of Aberration : (1) Spherical Ab.,(2) Coma, (3) Field Curvature, (4) Distortion, (5)Astigmatism, (6) Chromatic Ab.
This is not easy to improve after lens assembly finished : Because this comes from lens itself.
This is the reason why Lens evaluation specification is so important.
请教下6种情况具体指什么？谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-01-23 08:57:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这是典型的光学问题，而不是光刻的问题。讲的是光刻设备的镜头的各种像差畸变。你查光学的书能找到含义，比如第一个就是球差。
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-23 10:57:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SleepTooLong

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-23 10:57:46
这是典型的光学问题，而不是光刻的问题。讲的是光刻设备的镜头的各种像差畸变。你查光学的书能找到含义，比如第一个就是球差。

好的，我看看。
回复此楼
3楼2013-01-23 11:16:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这是光学系统或透镜的成像问题：球差、彗差、场曲、畸变等吧，查工程光学或应用光学书。
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-23 17:50:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

静静一yi
5楼2013-01-25 17:26:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 SleepTooLong 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂院校信息 +4 CX 330 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:48 by ms629
[考研] 一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂 +3 vv迷 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:05 by f19980501
[考研] 一志愿深大，0703化学，总分302，求调剂 +4 七月-七七 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:20 by 学员8dgXkO
[考研] 求助 +5 梦里的无言 2026-03-21 6/300 2026-03-21 17:51 by 学员8dgXkO
[考研] 278求调剂 +9 烟火先于春 2026-03-17 9/450 2026-03-21 17:47 by 学员8dgXkO
[考研] 306求0703调剂一志愿华中师范 +5 纸鱼ly 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:11 by 学员8dgXkO
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +3 NIFFFfff 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:23 by luoyongfeng
[考研] 材料工程（专）一志愿985 初试335求调剂 +3 hiloiy 2026-03-17 4/200 2026-03-21 03:04 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +3 阿姐阿姐家啊 2026-03-18 3/150 2026-03-20 23:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +8 小材化本科 2026-03-18 8/400 2026-03-20 23:16 by JourneyLucky
[考研] 324求调剂 +5 lucky呀呀呀鸭 2026-03-20 5/250 2026-03-20 22:30 by 促天成
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 5/250 2026-03-20 22:11 by 云游重阳
[考研] 一志愿西南交通 专硕 材料355 本科双非 求调剂 +5 西南交通专材355 2026-03-19 5/250 2026-03-20 21:10 by JourneyLucky
[考研] 0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章 +22 rare12345 2026-03-18 22/1100 2026-03-20 20:39 by zhukairuo
[考研] 材料工程专硕调剂 +5 204818@lcx 2026-03-17 6/300 2026-03-18 22:55 by 204818@lcx
[硕博家园] 湖北工业大学 生命科学与健康学院-课题组招收2026级食品/生物方向硕士 +3 1喜春8 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:18 by ber川cool子
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 321求调剂 +5 大米饭！ 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:33 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭