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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 请教光刻的一些问题 已有3人参与

一篇光刻的文章，讲偏差的部分，原文：
Definition : the state of Abnormal optical condition,path ; It’s related to lens polishing & assembly accuracy.
There are around 6 kinds of Aberration : (1) Spherical Ab.,(2) Coma, (3) Field Curvature, (4) Distortion, (5)Astigmatism, (6) Chromatic Ab.
This is not easy to improve after lens assembly finished : Because this comes from lens itself.
This is the reason why Lens evaluation specification is so important.
请教下6种情况具体指什么？谢谢！
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1楼 2013-01-23 08:57:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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这是典型的光学问题，而不是光刻的问题。讲的是光刻设备的镜头的各种像差畸变。你查光学的书能找到含义，比如第一个就是球差。
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2楼2013-01-23 10:57:46
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-23 10:57:46
这是典型的光学问题，而不是光刻的问题。讲的是光刻设备的镜头的各种像差畸变。你查光学的书能找到含义，比如第一个就是球差。

好的，我看看。
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3楼2013-01-23 11:16:08
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这是光学系统或透镜的成像问题：球差、彗差、场曲、畸变等吧，查工程光学或应用光学书。
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4楼2013-01-23 17:50:33
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静静一yi
5楼2013-01-25 17:26:59
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