24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1029  |  回复: 4

SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 请教光刻的一些问题 已有3人参与

一篇光刻的文章,讲偏差的部分,原文:
Definition : the state of Abnormal optical condition,path ; It’s related to lens polishing & assembly accuracy.
There are around 6 kinds of Aberration : (1) Spherical Ab.,(2) Coma, (3) Field Curvature, (4) Distortion, (5)Astigmatism, (6) Chromatic Ab.
This is not easy to improve after lens assembly finished : Because this comes from lens itself.
This is the reason why Lens evaluation specification is so important.
请教下6种情况具体指什么?谢谢!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这是典型的光学问题,而不是光刻的问题。讲的是光刻设备的镜头的各种像差畸变。你查光学的书能找到含义,比如第一个就是球差。
2楼2013-01-23 10:57:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SleepTooLong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-23 10:57:46
这是典型的光学问题,而不是光刻的问题。讲的是光刻设备的镜头的各种像差畸变。你查光学的书能找到含义,比如第一个就是球差。

好的,我看看。
3楼2013-01-23 11:16:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这是光学系统或透镜的成像问题:球差、彗差、场曲、畸变等吧,查工程光学或应用光学书。
4楼2013-01-23 17:50:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
5楼2013-01-25 17:26:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 SleepTooLong 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂 +8 月@163.com 2026-04-11 8/400 2026-04-12 08:46 by Sealedwind
[考研] 求调剂,262机械专硕 +8 嗯yyl 2026-04-08 8/400 2026-04-12 02:31 by 秋豆菜芽
[考研] 291分调剂 +5 上岸小莹加油 2026-04-09 6/300 2026-04-11 21:06 by 逆水乘风
[考研] 085400 328分 求调剂 +10 喂你一个大橙子 2026-04-09 14/700 2026-04-11 19:53 by lqspecial
[考研] 求调剂,一志愿大连理工大学354分 +5 雨声余生 2026-04-11 6/300 2026-04-11 16:12 by 雨声余生
[考研] 308求调剂 +3 VvvvL 2026-04-10 3/150 2026-04-11 15:32 by xiangxu
[考研] 本人女孩 +7 吼吼, 2026-04-10 9/450 2026-04-11 14:45 by ACS Nano——
[考研] 298求调剂 +5 残荷新柳 2026-04-07 5/250 2026-04-11 11:02 by 紫曦紫棋
[考研] 机械专硕270求调剂,接受跨专业 +12 老师看看我吧aba 2026-04-09 14/700 2026-04-11 10:21 by laoshidan
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH(等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 080500求调剂 +17 黄宇博 2026-04-06 17/850 2026-04-11 08:36 by zhq0425
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +6 白云123456789 2026-04-09 8/400 2026-04-10 21:13 by zhouxiaoyu
[考研] 22408 366分,本科211,一志愿西工大 +4 Rubt 2026-04-09 4/200 2026-04-10 19:51 by chemisry
[考研] 314求调剂 +18 xhhdjdjsjks 2026-04-09 19/950 2026-04-10 18:53 by HPUCZ
[考研] 一志愿西南大学生物学学硕344 求生物学相关调剂/生物与医药 +7 超人不会飞@ 2026-04-08 7/350 2026-04-09 09:35 by gong120082
[考研] 求调剂 +13 柒luck 2026-04-07 13/650 2026-04-08 22:46 by 猪会飞
[考研] 一志愿华东理工085601材料工程303分求调剂 +15 a1708 2026-04-06 15/750 2026-04-08 16:23 by luoyongfeng
[考研] 265求调剂 +19 小木虫085600 2026-04-06 21/1050 2026-04-08 10:38 by 逆水乘风
[考研] 机械工程264学硕求调剂 +3 qiushangxian 2026-04-06 3/150 2026-04-08 01:53 by Linzejun
[考研] 344求调剂 +11 魏子per 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:01 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见