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SleepTooLong银虫 (小有名气)
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请教光刻的一些问题 已有3人参与
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一篇光刻的文章，讲偏差的部分，原文： Definition : the state of Abnormal optical condition,path ; It’s related to lens polishing & assembly accuracy. There are around 6 kinds of Aberration : (1) Spherical Ab.,(2) Coma, (3) Field Curvature, (4) Distortion, (5)Astigmatism, (6) Chromatic Ab. This is not easy to improve after lens assembly finished : Because this comes from lens itself. This is the reason why Lens evaluation specification is so important. 请教下6种情况具体指什么？谢谢！ |
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 yswyx的关于光刻的各种回复 |
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yswyx 
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