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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 国内做胶片菲林有能做到10微米的吗？
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feul

捐助贵宾 (小有名气)

[求助] 国内做胶片菲林有能做到10微米的吗？

请教大家一个光刻加工的问题，国内做光刻用的胶片菲林有能做到10微米的吗？
目前所做的都只能达到20微米，感觉有一定的局限性。
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宁静致远
1楼 2012-10-26 14:23:33
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2012-10-26 15:54:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
feul: 金币+1, ★★★★★最佳答案 2012-10-26 17:23:53
楼上恰恰说错了，菲林到10um以下根本就没办法做了。20um已经很好了，10um的话只能是那些对图形边缘没要求的场合用用。
楼主需要注意的是，光刻绝大部分情况是不用菲林的，使用光刻掩模版的。普通的mask，1um，3um，5um，都很常见，只是价格稍有档次差，但都不贵。产线上用的石英版，价格贵很多，一百多nm的也有。
光刻用菲林的时代是上世纪五十年代，现在用菲林做光刻的只有PCB和码盘、光栅尺行业了，随着激光直写速度越来越快，这几个行业也快要淘汰菲林了。而且现在做mask非常便宜，没必要用菲林，除非是自己手头有打印机做点儿简单的玩玩。
像楼主这样做bio的，还是少用菲林版的好，菲林的线条轮廓不好，对于bio做流体来说，这种轮廓反应到流道中，就是不可预测的扰动。
如果你想了解更多光刻的问题，可以短信我你的联系方式
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3楼2012-10-26 16:34:34
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feul

捐助贵宾 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-26 16:34:34
楼上恰恰说错了，菲林到10um以下根本就没办法做了。20um已经很好了，10um的话只能是那些对图形边缘没要求的场合用用。
楼主需要注意的是，光刻绝大部分情况是不用菲林的，使用光刻掩模版的。普通的mask，1um，3um， ...

谢谢您的建议。
菲林的价格相对于铬版来说，便宜很多，对于一些初步测试想法还是比较有用的。我以前用CAD/ART（在加州）的菲林，他们可以做到10微米。
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宁静致远
4楼2012-10-26 17:28:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by feul at 2012-10-26 17:28:43
谢谢您的建议。
菲林的价格相对于铬版来说，便宜很多，对于一些初步测试想法还是比较有用的。我以前用CAD/ART（在加州）的菲林，他们可以做到10微米。...

一块5寸版，10um精度的，也就五百人民币，80美金。不知道你做的菲林要多少钱？
而且菲林在使用上很麻烦，应用的领域太窄，个人认为，它节省的钱比起给光刻造成困难，还是不值得。
10um的国内也可以做，在深圳有专门为码盘行业做菲林的。关键是要有高数值dpi的打印机，这个有钱就能买到。
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5楼2012-10-26 17:42:09
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zhcsolution

新虫 (初入文坛)
无论是做光绘还是做光刻，图形文件的CAM处理是非常关键的因素
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6楼2014-10-16 17:12:18
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fengshaodong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-26 16:34:34
楼上恰恰说错了，菲林到10um以下根本就没办法做了。20um已经很好了，10um的话只能是那些对图形边缘没要求的场合用用。
楼主需要注意的是，光刻绝大部分情况是不用菲林的，使用光刻掩模版的。普通的mask，1um，3um， ...

你好，能问一下你的邮箱吗，想问一下用菲林做掩膜板的一些问题。
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7楼2015-06-17 14:28:34
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fengshaodong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by feul at 2012-10-26 17:28:43
谢谢您的建议。
菲林的价格相对于铬版来说，便宜很多，对于一些初步测试想法还是比较有用的。我以前用CAD/ART（在加州）的菲林，他们可以做到10微米。...

你好，能问一下你的邮箱吗，想问一下用菲林做掩膜板的一些问题。
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8楼2015-06-17 14:28:53
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