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feul

捐助贵宾 (小有名气)

[求助] 国内做胶片菲林有能做到10微米的吗?

请教大家一个光刻加工的问题,国内做光刻用的胶片菲林有能做到10微米的吗?
目前所做的都只能达到20微米,感觉有一定的局限性。
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宁静致远
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fengshaodong

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-26 16:34:34
楼上恰恰说错了,菲林到10um以下根本就没办法做了。20um已经很好了,10um的话只能是那些对图形边缘没要求的场合用用。
楼主需要注意的是,光刻绝大部分情况是不用菲林的,使用光刻掩模版的。普通的mask,1um,3um, ...

你好,能问一下你的邮箱吗,想问一下用菲林做掩膜板的一些问题。
7楼2015-06-17 14:28:34
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fengshaodong

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by feul at 2012-10-26 17:28:43
谢谢您的建议。
菲林的价格相对于铬版来说,便宜很多,对于一些初步测试想法还是比较有用的。我以前用CAD/ART(在加州)的菲林,他们可以做到10微米。...

你好,能问一下你的邮箱吗,想问一下用菲林做掩膜板的一些问题。
8楼2015-06-17 14:28:53
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