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国内做胶片菲林有能做到10微米的吗？
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请教大家一个光刻加工的问题，国内做光刻用的胶片菲林有能做到10微米的吗？ 目前所做的都只能达到20微米，感觉有一定的局限性。 |
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exciting1973 
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2楼2012-10-26 15:54:25
yswyx 
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【答案】应助回帖
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楼上恰恰说错了，菲林到10um以下根本就没办法做了。20um已经很好了，10um的话只能是那些对图形边缘没要求的场合用用。 楼主需要注意的是，光刻绝大部分情况是不用菲林的，使用光刻掩模版的。普通的mask，1um，3um，5um，都很常见，只是价格稍有档次差，但都不贵。产线上用的石英版，价格贵很多，一百多nm的也有。 光刻用菲林的时代是上世纪五十年代，现在用菲林做光刻的只有PCB和码盘、光栅尺行业了，随着激光直写速度越来越快，这几个行业也快要淘汰菲林了。而且现在做mask非常便宜，没必要用菲林，除非是自己手头有打印机做点儿简单的玩玩。 像楼主这样做bio的，还是少用菲林版的好，菲林的线条轮廓不好，对于bio做流体来说，这种轮廓反应到流道中，就是不可预测的扰动。 如果你想了解更多光刻的问题，可以短信我你的联系方式  |
3楼2012-10-26 16:34:34
4楼2012-10-26 17:28:43
yswyx
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5楼2012-10-26 17:42:09
zhcsolution
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