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wxa616

银虫 (小有名气)


[交流] 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料

求光胶参数 如:转速  厚度  烘胶时间 温度等
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谯_荷塘月色

新虫 (初入文坛)



wxa616(金币+1): 谢谢参与
转速一般两千就行(),厚度大约是1u,120℃烘烤,烘烤15分钟。
2楼2012-12-08 20:51:42
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★ ★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
wxa616: 金币+1 2012-12-10 13:06:29
这要看你用的是什么光刻胶,不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶,那么就找现有的光刻胶对应的技术文档,根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶,买胶的话,就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶,我可以给你介绍。
3楼2012-12-08 21:41:41
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wxa616

银虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 21:41:41
这要看你用的是什么光刻胶,不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶,那么就找现有的光刻胶对应的技术文档,根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶,买胶的话,就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶,我 ...

光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢
4楼2012-12-10 12:19:28
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引用回帖:
4楼: Originally posted by wxa616 at 2012-12-10 12:19:28
光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢...

前者google,后者百度,都有答案。
话说这两种胶即不好买,也不好用,你们什么实验室啊?
5楼2012-12-10 15:28:59
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科学先生

银虫 (正式写手)



wxa616(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by wxa616 at 2012-12-10 12:19:28
光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢...

AZ50XT 前转600,后转1200
大概是30-50um,可以通过后转的转速调节胶的厚度,或者是胶的量。
6楼2012-12-10 17:13:01
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wxa616

银虫 (小有名气)


引用回帖:
6楼: Originally posted by 科学先生 at 2012-12-10 17:13:01
AZ50XT 前转600,后转1200
大概是30-50um,可以通过后转的转速调节胶的厚度,或者是胶的量。...

谢啦
7楼2012-12-11 12:38:35
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wxa616

银虫 (小有名气)


引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-10 15:28:59
前者google,后者百度,都有答案。
话说这两种胶即不好买,也不好用,你们什么实验室啊?...

为什么google不到..   求帮忙....我们是坐微流控的实验室
8楼2013-01-14 10:38:08
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wxa616: 金币+1 2013-01-14 15:12:54
引用回帖:
8楼: Originally posted by wxa616 at 2013-01-14 10:38:08
为什么google不到..   求帮忙....我们是坐微流控的实验室...

http://cnl.colorado.edu/cnl/imag ... 0xt_photoresist.pdf
9楼2013-01-14 14:27:13
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wxa616

银虫 (小有名气)


引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-14 14:27:13
http://cnl.colorado.edu/cnl/images/MSDS/clariant%20az_50xt_photoresist.pdf...

非常感谢 ,  能再问个不...  SU8-2010 和SU8-2050   
10楼2013-01-14 15:13:37
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我家也有卖SU8,瑞士的,你居然问我美国的,我好伤心……
http://www.microchem.com/Prod-SU82000.htm
11楼2013-01-14 15:15:24
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wxa616

银虫 (小有名气)


引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-14 14:27:13
http://cnl.colorado.edu/cnl/images/MSDS/clariant%20az_50xt_photoresist.pdf...

额      我想要的事光胶曝光的参数.....
12楼2013-01-14 16:17:23
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andyli24

木虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这里有三种光刻胶的性能,你可以参考一下

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13楼2013-04-13 08:31:54
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