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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料
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wxa616

银虫 (小有名气)

[交流] 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料

求光胶参数 如：转速  厚度  烘胶时间 温度等
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1楼 2012-12-07 16:24:22
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谯_荷塘月色

新虫 (初入文坛)
★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
转速一般两千就行（），厚度大约是1u，120℃烘烤，烘烤15分钟。
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2楼2012-12-08 20:51:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
wxa616: 金币+1 2012-12-10 13:06:29
这要看你用的是什么光刻胶，不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶，那么就找现有的光刻胶对应的技术文档，根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶，买胶的话，就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶，我可以给你介绍。
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3楼2012-12-08 21:41:41
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 21:41:41
这要看你用的是什么光刻胶，不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶，那么就找现有的光刻胶对应的技术文档，根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶，买胶的话，就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶，我 ...

光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢
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4楼2012-12-10 12:19:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wxa616 at 2012-12-10 12:19:28
光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢...

前者google，后者百度，都有答案。
话说这两种胶即不好买，也不好用，你们什么实验室啊？
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5楼2012-12-10 15:28:59
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科学先生

银虫 (正式写手)
★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by wxa616 at 2012-12-10 12:19:28
光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢...

AZ50XT 前转600，后转1200
大概是30-50um，可以通过后转的转速调节胶的厚度，或者是胶的量。
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6楼2012-12-10 17:13:01
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 科学先生 at 2012-12-10 17:13:01
AZ50XT 前转600，后转1200
大概是30-50um，可以通过后转的转速调节胶的厚度，或者是胶的量。...

谢啦
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7楼2012-12-11 12:38:35
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-10 15:28:59
前者google，后者百度，都有答案。
话说这两种胶即不好买，也不好用，你们什么实验室啊？...

为什么google不到..   求帮忙....我们是坐微流控的实验室
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8楼2013-01-14 10:38:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
wxa616: 金币+1 2013-01-14 15:12:54
引用回帖:
8楼: Originally posted by wxa616 at 2013-01-14 10:38:08
为什么google不到..   求帮忙....我们是坐微流控的实验室...

http://cnl.colorado.edu/cnl/imag ... 0xt_photoresist.pdf
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9楼2013-01-14 14:27:13
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-14 14:27:13
http://cnl.colorado.edu/cnl/images/MSDS/clariant%20az_50xt_photoresist.pdf...

非常感谢 ，  能再问个不...  SU8-2010 和SU8-2050   
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10楼2013-01-14 15:13:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我家也有卖SU8，瑞士的，你居然问我美国的，我好伤心……
http://www.microchem.com/Prod-SU82000.htm
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11楼2013-01-14 15:15:24
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-14 14:27:13
http://cnl.colorado.edu/cnl/images/MSDS/clariant%20az_50xt_photoresist.pdf...

额      我想要的事光胶曝光的参数.....
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12楼2013-01-14 16:17:23
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andyli24

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这里有三种光刻胶的性能，你可以参考一下
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