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wxa616

银虫 (小有名气)

[交流] 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料

求光胶参数 如：转速  厚度  烘胶时间 温度等
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1楼 2012-12-07 16:24:22
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-14 14:27:13
http://cnl.colorado.edu/cnl/images/MSDS/clariant%20az_50xt_photoresist.pdf...

额      我想要的事光胶曝光的参数.....
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12楼2013-01-14 16:17:23
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谯_荷塘月色

新虫 (初入文坛)
★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
转速一般两千就行（），厚度大约是1u，120℃烘烤，烘烤15分钟。
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2楼2012-12-08 20:51:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
wxa616: 金币+1 2012-12-10 13:06:29
这要看你用的是什么光刻胶，不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶，那么就找现有的光刻胶对应的技术文档，根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶，买胶的话，就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶，我可以给你介绍。
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3楼2012-12-08 21:41:41
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 21:41:41
这要看你用的是什么光刻胶，不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶，那么就找现有的光刻胶对应的技术文档，根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶，买胶的话，就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶，我 ...

光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢
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4楼2012-12-10 12:19:28
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