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wxa616

银虫 (小有名气)


[交流] 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料

求光胶参数 如:转速  厚度  烘胶时间 温度等
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wxa616: 金币+1 2013-01-14 15:12:54
引用回帖:
8楼: Originally posted by wxa616 at 2013-01-14 10:38:08
为什么google不到..   求帮忙....我们是坐微流控的实验室...

http://cnl.colorado.edu/cnl/imag ... 0xt_photoresist.pdf
9楼2013-01-14 14:27:13
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谯_荷塘月色

新虫 (初入文坛)



wxa616(金币+1): 谢谢参与
转速一般两千就行(),厚度大约是1u,120℃烘烤,烘烤15分钟。
2楼2012-12-08 20:51:42
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★ ★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
wxa616: 金币+1 2012-12-10 13:06:29
这要看你用的是什么光刻胶,不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶,那么就找现有的光刻胶对应的技术文档,根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶,买胶的话,就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶,我可以给你介绍。
3楼2012-12-08 21:41:41
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wxa616

银虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 21:41:41
这要看你用的是什么光刻胶,不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶,那么就找现有的光刻胶对应的技术文档,根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶,买胶的话,就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶,我 ...

光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢
4楼2012-12-10 12:19:28
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