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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料
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wxa616

银虫 (小有名气)

[交流] 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料

求光胶参数 如：转速  厚度  烘胶时间 温度等
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1楼 2012-12-07 16:24:22
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 科学先生 at 2012-12-10 17:13:01
AZ50XT 前转600，后转1200
大概是30-50um，可以通过后转的转速调节胶的厚度，或者是胶的量。...

谢啦
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7楼2012-12-11 12:38:35
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谯_荷塘月色

新虫 (初入文坛)
★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
转速一般两千就行（），厚度大约是1u，120℃烘烤，烘烤15分钟。
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2楼2012-12-08 20:51:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
wxa616(金币+1): 谢谢参与
wxa616: 金币+1 2012-12-10 13:06:29
这要看你用的是什么光刻胶，不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶，那么就找现有的光刻胶对应的技术文档，根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶，买胶的话，就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶，我可以给你介绍。
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3楼2012-12-08 21:41:41
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 21:41:41
这要看你用的是什么光刻胶，不同的光刻胶之间差别非常大。
如果你手头有光刻胶，那么就找现有的光刻胶对应的技术文档，根据光刻胶型号找。如果没有光刻胶，买胶的话，就需要在买的时候索要技术文档。如果要买胶，我 ...

光胶有AZ50XT AZ5214E   没参数   您有吗、  谢谢
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4楼2012-12-10 12:19:28
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