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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜的厚度测试
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【悬赏金币】回答本帖问题，作者0605102034将赠送您 5 个金币

宗铭

银虫 (正式写手)
对不起搞错了
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向目标前进
21楼2012-12-06 21:09:35
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0605102034

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by jiaodadequn at 2012-12-06 16:49:06
掉了也没关系，就是要那种脆断的断口，这样才能看到真实的截面，当然包含厚度。不过我担心的是导电性不是很好，毕竟金刚石膜和Si材的导电不是很好。...

非常感谢！
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22楼2012-12-10 15:49:51
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linpeng_xmc

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-13 21:24:53
台阶仪和椭偏仪，不过椭偏仪要MODULE
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HI,在工作中才发现学无止境啊
23楼2012-12-13 15:13:04
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

★
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2013-01-04 20:20:22
测薄膜厚度的方法很多，台阶仪、SEM、UV、椭偏。还有一个很简单的方法就是称重，因为硅的密度一定，镀膜的面积一定，用镀膜前后的厚度差就可以计算出薄膜的厚度。这个方法希望对你有帮助
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人生没有捷径
24楼2013-01-04 19:39:23
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h771908609

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-13 21:25:56
椭圆偏光仪 和SEM截面图
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25楼2013-01-13 18:43:11
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liushanhu

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
fbqrdzs: 金币+1, 专家解答。 2013-06-03 11:31:43
fbqrdzs: 应助指数+1 2013-06-03 11:31:48
用SEM看断面，这个最便捷
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26楼2013-01-14 13:02:02
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踏浪

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-03 11:28:59
用UV测出样品的透射率，如果样品够厚的话可以产生干涉，通过包络线即可求出薄膜的厚度，且用这种方法误差也不是很大！~
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做自己就好！！
27楼2013-01-14 15:15:46
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提拉米苏.

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用扫描电镜照截面，用标尺可以标出厚度
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28楼2013-01-16 22:48:38
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-03 11:29:16
fbqrdzs: 应助指数+1 2013-06-03 11:30:34
切个新鲜的面，拿去做个SEM就可以了，这么厚的膜很容易看出来的，或者做台阶仪。
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用绳命来搞科研
29楼2013-01-17 09:21:29
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wozoule2005

木虫 (著名写手)

童虎

【答案】应助回帖

SEM可以租略看一下厚度，稍微精确一点就是台阶仪，在精确一点就是椭偏和XRR。
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时空转移，科研继续。
30楼2013-01-18 20:18:49
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