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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 薄膜的厚度测试

各位大侠,谁能告诉我一下怎样测定沉积在硅衬底上的金刚石薄膜的厚度,硅片的厚度在50-150μm厚,而膜厚在几微米到几十微米厚,如能告诉一下,不胜感激!!!
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h771908609

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-13 21:25:56
椭圆偏光仪 和SEM截面图
25楼2013-01-13 18:43:11
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