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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 薄膜的厚度测试

各位大侠,谁能告诉我一下怎样测定沉积在硅衬底上的金刚石薄膜的厚度,硅片的厚度在50-150μm厚,而膜厚在几微米到几十微米厚,如能告诉一下,不胜感激!!!
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
19楼: Originally posted by jiaodadequn at 2012-12-06 16:49:06
掉了也没关系,就是要那种脆断的断口,这样才能看到真实的截面,当然包含厚度。不过我担心的是导电性不是很好,毕竟金刚石膜和Si材的导电不是很好。...

非常感谢!
22楼2012-12-10 15:49:51
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honghong_2008

木虫 (小有名气)

爱幻想的女孩

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:09
我们一般都用SEM拍断口图片,或是用千分尺测量。
潜力是需要挖掘的!锲而舍之,朽木不折;锲而不舍,金石可镂
2楼2012-12-03 18:49:47
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zurich0609

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:16
有专门的仪器,测量厚度的,比如表面轮廓仪,就可以用来测量膜厚
有追求,知拼搏,懂坚持,才能体验那份成功!
3楼2012-12-03 19:15:59
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:26
SEM是很好的测试厚度的方法哦。并且你的厚度也比较容易!还有一个叫椭偏仪,但是一般比较少哈

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
4楼2012-12-03 19:21:57
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