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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by honghong_2008 at 2012-12-03 18:49:47
我们一般都用SEM拍断口图片,或是用千分尺测量。

谢谢,由于太薄,千分尺可能效果不好。
11楼2012-12-04 13:45:25
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2012-12-03 19:21:57
SEM是很好的测试厚度的方法哦。并且你的厚度也比较容易!还有一个叫椭偏仪,但是一般比较少哈

非常感谢,到时候去试试SEM
12楼2012-12-04 13:46:11
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zurich0609 at 2012-12-03 19:15:59
有专门的仪器,测量厚度的,比如表面轮廓仪,就可以用来测量膜厚

嗯,对这个不太熟,谢了!
13楼2012-12-04 13:47:52
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wangyongju2005 at 2012-12-03 21:12:44
太多了,表面轮廓仪!
非接触式三维表面形貌仪!
等等.....

谢谢!
14楼2012-12-04 13:48:41
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by evilangel at 2012-12-04 09:39:32
用手掰?薄膜如果长的不牢的,可能会掉的。

确实有这种可能的,谢谢了!
15楼2012-12-04 13:50:58
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by xjtu-sunhl at 2012-12-04 08:31:49
在没有镀薄膜的硅片上用金刚石刀片划个刀痕,在另一面直接掰断,用扫描电镜看断面。

可以试试看,谢了!
16楼2012-12-04 13:51:28
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-04 20:22:05
我们的薄膜一般就用SEM看断口。
17楼2012-12-04 16:20:33
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北伐将军

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-04 20:22:17
不知台阶仪能不能测
失败乃成功之母
18楼2012-12-06 11:20:33
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jiaodadequn

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by evilangel at 2012-12-04 09:39:32
用手掰?薄膜如果长的不牢的,可能会掉的。

掉了也没关系,就是要那种脆断的断口,这样才能看到真实的截面,当然包含厚度。不过我担心的是导电性不是很好,毕竟金刚石膜和Si材的导电不是很好。
19楼2012-12-06 16:49:06
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宗铭

银虫 (正式写手)

chemlh: 应助指数-1, 原子力? 2013-01-04 20:23:07
原子力显微镜 不知道能不能行
向目标前进
20楼2012-12-06 21:08:28
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