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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜的厚度测试
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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 薄膜的厚度测试

各位大侠，谁能告诉我一下怎样测定沉积在硅衬底上的金刚石薄膜的厚度，硅片的厚度在50-150μm厚，而膜厚在几微米到几十微米厚，如能告诉一下，不胜感激！！！
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1楼2012-12-03 17:06:02
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jiaodadequn

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by evilangel at 2012-12-04 09:39:32
用手掰？薄膜如果长的不牢的，可能会掉的。

掉了也没关系，就是要那种脆断的断口，这样才能看到真实的截面，当然包含厚度。不过我担心的是导电性不是很好，毕竟金刚石膜和Si材的导电不是很好。
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19楼2012-12-06 16:49:06
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honghong_2008

木虫 (小有名气)

爱幻想的女孩

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:09
我们一般都用SEM拍断口图片，或是用千分尺测量。
赞一下 回复此楼
潜力是需要挖掘的！锲而舍之，朽木不折；锲而不舍，金石可镂
2楼2012-12-03 18:49:47
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zurich0609

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:16
有专门的仪器，测量厚度的，比如表面轮廓仪，就可以用来测量膜厚
赞一下 回复此楼
有追求，知拼搏，懂坚持，才能体验那份成功！
3楼2012-12-03 19:15:59
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:26
SEM是很好的测试厚度的方法哦。并且你的厚度也比较容易！还有一个叫椭偏仪，但是一般比较少哈

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
奋斗。。。
4楼2012-12-03 19:21:57
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查看全部 53 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫 论文翻译-EnPapers美助理教授团队-SCI英文润色
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