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roubao

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-03 11:29:36
fbqrdzs: 应助指数+1 2013-06-03 11:30:28
SEM、UV、XPS都可以侧厚度
31楼2013-01-18 20:32:21
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shanghaigmt

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

fbqrdzs: 有打广告的嫌疑。 2013-06-03 11:32:31
测厚的方式有很多种,前面有大虾提过,还有一种比较先进的方法: 自动光学检测。推荐一个德国产品:http://www.globalmetech.com/Schwab.html

真正的非接触、非破坏的、大面积全表面的精确检测,即可以离线实验检测,也可以在线。在各种镀膜的生产领域可以很好应用
32楼2013-01-24 16:25:03
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 欢迎来功能材料版交流。 2013-06-03 11:32:50
楼主做的膜很厚,都不必要用sem测试了。提供一个简单的方法:镀膜时预先用胶带贴住一部分,镀完膜后并丙酮洗掉,然后在金相显微镜下找到衬底和薄膜表面两个聚焦面,直接读出旋转的角度,一般显微镜上细调旋钮都有刻度的,就是专门给楼主用来测厚度的。
33楼2013-01-25 19:45:35
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
33楼: Originally posted by yj656 at 2013-01-25 19:45:35
楼主做的膜很厚,都不必要用sem测试了。提供一个简单的方法:镀膜时预先用胶带贴住一部分,镀完膜后并丙酮洗掉,然后在金相显微镜下找到衬底和薄膜表面两个聚焦面,直接读出旋转的角度,一般显微镜上细调旋钮都有刻 ...

嗯,这个办法很不错,但是,镀膜时温度比较高,一般胶带受不了,还是很感谢你的回答哈!
34楼2013-01-26 01:02:38
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
34楼: Originally posted by 0605102034 at 2013-01-26 01:02:38
嗯,这个办法很不错,但是,镀膜时温度比较高,一般胶带受不了,还是很感谢你的回答哈!...

温度很高的话可以用一片金属箔贴在样片表面进行遮挡镀膜,效果也是一样的。
35楼2013-01-26 09:07:28
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kingyidong

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
fbqrdzs: 金币+3, 详细解答,有帮助。 2013-06-03 11:29:55
fbqrdzs: 应助指数+1 2013-06-03 11:30:22
我们实验室就用表面与轮廓粗糙度仪测试厚度的  能精确到0.1um   镀膜的时候想办法把一部分遮住  然后测遮住部分与镀膜后两者的台阶  自然厚度就出来了
36楼2013-03-11 13:17:22
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 有帮助。 2013-06-03 11:30:16
原子力显微镜可以测高度差;扫描电镜在处理的断面镀金后,最扫描,可以按比例估算膜厚;如果薄膜是单层膜厚在nm级的话,还可利用XRD测量计算
天道酬勤
37楼2013-04-14 22:04:46
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0605102034

铜虫 (著名写手)

非常感谢各位虫友的热情帮助,上次去做了个断面的SEM已经解决问题了!
38楼2013-04-15 13:24:44
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)

引用回帖:
27楼: Originally posted by 踏浪 at 2013-01-14 15:15:46
用UV测出样品的透射率,如果样品够厚的话可以产生干涉,通过包络线即可求出薄膜的厚度,且用这种方法误差也不是很大!~

请教下:我的薄膜在100nm左右  没有产生干涉  
还可不可以通过紫外-可见这个光谱来算厚度?
呜呼.....
39楼2013-04-25 16:27:45
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)

引用回帖:
31楼: Originally posted by roubao at 2013-01-18 20:32:21
SEM、UV、XPS都可以侧厚度

XPS?
呜呼.....
40楼2013-04-25 16:29:34
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